[发明专利]光器件以及光检测系统

权利要求书

1.一种光器件，具备：

第1基板，其具有沿着第1方向和与所述第1方向交叉的第2方向扩展的表面；

第2基板，其与所述第1基板相对向；

多个隔壁，其位于所述第1基板与所述第2基板之间，沿着所述第1方向延伸；

一个以上的第1光波导，其位于所述第1基板与所述第2基板之间，具备位于所述多个隔壁之间并沿着所述第1方向延伸的一个以上的电介质部件；以及

一个以上的间隔件，其直接或者间接地被所述第1基板和所述第2基板夹持，位于所述一个以上的第1光波导的周围，

所述一个以上的间隔件各自的弹性模量比所述多个隔壁中的任一个隔壁的弹性模量小。

2.根据权利要求1所述的光器件，

所述多个隔壁直接或者间接地被所述第1基板和所述第2基板夹持，

因被所述第1基板和所述第2基板夹持而引起的、与所述第1基板的所述表面垂直的方向上的所述一个以上的间隔件各自的变形率比所述垂直的方向上的所述多个隔壁中的任一个隔壁的变形率大。

3.根据权利要求1或者2所述的光器件，

所述一个以上的间隔件为多个柱状的间隔件。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光器件，

还具备密封部件，所述密封部件将所述第1基板与所述第2基板的间隔固定，

从与所述第1基板的所述表面垂直的方向观察时，所述密封部件包围所述一个以上的第1光波导和所述多个隔壁。

5.根据权利要求4所述的光器件，

位于所述第1基板与所述第2基板之间并由所述密封部件包围的区域由与所述一个以上的电介质部件相同的部件填满。

6.根据权利要求4或者5所述的光器件，

所述一个以上的间隔件位于由所述密封部件包围的区域内和/或所述区域外。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光器件，

还具备一个以上的第2光波导，所述一个以上的第2光波导分别连接于所述一个以上的第1光波导。

8.根据权利要求7所述的光器件，

所述一个以上的第1光波导为多个第1光波导，

所述一个以上的第2光波导为多个第2光波导，

所述一个以上的间隔件包括设置在所述多个第2光波导中的相邻的两个第2光波导之间的至少一个间隔件。

9.根据权利要求7所述的光器件，

还具备电介质层，所述电介质层位于所述第1基板与所述一个以上的第2光波导之间。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的光器件，

所述一个以上的第2光波导各自具备位于所述多个隔壁中的相邻的两个隔壁之间的部分，

所述一个以上的第2光波导各自在位于相邻的两个隔壁之间的所述部分具备第1光栅。

11.根据权利要求7～10中任一项所述的光器件，

从与所述第1基板的所述表面垂直的方向观察时，所述一个以上的第2光波导各自具备与所述第1基板和所述第2基板中的任一方不重叠的部分，

所述一个以上的第2光波导各自在所述不重叠的部分具备第2光栅。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的光器件，

还具备两个反射镜，所述两个反射镜分别位于所述第1基板与所述一个以上的电介质部件之间以及所述第2基板与所述一个以上的电介质部件之间。

13.根据权利要求12所述的光器件，

从与所述第1基板的所述表面垂直的方向观察时，在设置有所述一个以上的间隔件的区域中没有形成所述两个反射镜中的至少一方。