[实用新型]一种半导体支撑板及其加工刀具

说明书

本实用新型涉及一种半导体支撑板及其加工刀具，支撑板包括板体、弧形面以及纵向防滑槽；所述板体为长方形，其顶面为弧形面，弧形面上沿其宽度设置有多道间隔相等的防滑槽。加工刀具包括一个圆形刀座，刀座的中心设有轴孔，刀座周转均布若干个长度相等的刀柄，所述刀柄与刀座的中心线形成一定夹角，各刀柄的端部焊接有刀头，刀头上设有拉槽剧齿。细密的防滑槽的设置，使切割半导体的刀具在切割时与支撑板呈点接触，减少切割刀具与支撑板的接触面积，防止刀具损坏，支撑板设置为空心或半空心结构有效减少了对材料的应用。支撑板加工刀具的设置能够实现对支撑板的快速加工，且方便根据支撑板的规格调整刀具。

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，具体公开了一种半导体支撑板及其加工刀具。

背景技术

目前，半导体或者多晶硅进行加工时，需要支撑板进行支撑，支撑板为耗材，用量大，且传统的支撑板为塑料材质，表面多为横向防滑纹，由于其粘性较大，切割时切割刀具与支撑板有较大面积的接触，易损伤刀具，且耗费材料。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种半导体支撑板及其加工刀具。

本发明采用的技术方案是：一种半导体支撑板，包括板体、弧形面以及纵向防滑槽；所述板体为长方形，其顶面为弧形面，弧形面上沿其宽度设置有多道间隔相等的防滑槽。

所述板体为实心板、空心板或半实心板。

所述半实心板的板体内设置多道加强筋板。

所述板体的弧形面两侧设有过渡平面结构。

所述防滑槽的截面为弧形。

所述防滑槽的个数为36~40道，防滑槽的宽度为0.1~0.3mm。

一种半导体支撑板加工刀具，包括一个圆形刀座，刀座的中心设有轴孔，刀座周转均布若干个长度相等的刀柄，所述刀柄与刀座的中心线形成一定夹角，各刀柄的端部焊接有刀头，刀头上设有拉槽剧齿。

所述刀头的前端为弧形结构且形成一定角度的斜切面，斜切面上沿其宽度均布多道剧齿，弧形结构的两侧设有肩台，刀具转动时，在支撑板的弧形面上拉出防滑槽。

所述刀头前端的弧形结构与支撑板的弧形面形状吻合，肩台与支撑板的过渡平面结构吻合。

所述刀具与刨床结合使用，将支撑板通过输送装置推入刀具下方，在连续不断的输送过程中，刀具在电机的带动下旋转，对支撑板进行拉槽加工。

本发明的有益效果是：细密的防滑槽的设置，使切割半导体的刀具在切割时与支撑板呈点接触，减少切割刀具与支撑板的接触面积，防止刀具损坏，支撑板设置为空心或半空心结构有效减少了对材料的应用。支撑板加工刀具的设置能够实现对支撑板的快速加工，且方便根据支撑板的规格调整刀具。

附图说明

图1为支撑板的结构示意图。

图2为实心支撑板的截面图。

图3为空心支撑板的截面图。

图4为半实心支撑板的截面图。

图5为加工刀具的结构示意图。

图6为刀头的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种半导体支撑板，包括板体1、弧形面2以及纵向防滑槽3；所述板体1为长方形，其顶面为弧形面2，弧形面2上沿其宽度设置有多道间隔相等的防滑槽3。

如图2、3和4 所示，所述板体1为实心板、空心板或半实心板。

如图4所示，所述半实心板的板体内设置多道加强筋板1-2，所述加强筋板1-2为纵向设置、横向设置或纵横交错设置。