[实用新型]一种大颗粒金刚石的制备装置

权利要求书

1.一种大颗粒金刚石的制备装置，包括沉积腔体，其特征在于，还包括吹气单元、排气单元和等离子体单元，吹气单元设有进气管路，进气管路一端伸入沉积腔体底端、并与沉积腔体连通，进气管路伸入沉积腔体一端设为喇叭状开口，并在喇叭状开口处设有若干个吹气小孔，排气单元设有排气管路，排气管路与沉积腔体顶端连通，等离子体单元与沉积腔体连接。

2.根据权利要求1所述的一种大颗粒金刚石的制备装置，其特征在于，还包括吹气调节装置，吹气调节装置与吹气单元连接。

3.根据权利要求1所述的一种大颗粒金刚石的制备装置，其特征在于，还包括真空调节装置，真空调节装置安装于排气管路。

4.根据权利要求1所述的一种大颗粒金刚石的制备装置，其特征在于，还包括排气调节阀，排气调节阀安装于排气管路。

5.根据权利要求2所述的一种大颗粒金刚石的制备装置，其特征在于，还包括循环单元，循环单元设有循环风管，循环风管的两端分别连通吹气调节装置和排气管路。

6.根据权利要求5所述的一种大颗粒金刚石的制备装置，其特征在于，循环单元还设有换热装置和循环调节阀，换热装置和循环调节阀分别安装于循环风管。

7.根据权利要求1所述的一种大颗粒金刚石的制备装置，其特征在于，等离子体单元设有微波等离子体发生器，微波等离子体发生器与沉积腔体连接。

8.根据权利要求1所述的一种大颗粒金刚石的制备装置，其特征在于，还包括观察窗，观察窗安装于沉积腔体腔壁。