[实用新型]一种半导体生产线的废热利用装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体生产线的废热利用装置，包括加热箱，所述加热箱上方开设有贯穿侧壁的开口，所述开口内侧壁固定连接有U型块，所述U型块内设置有加热机构，所述加热箱侧壁处连接有蒸汽箱，所述蒸汽箱通过出气管道连接有传输机构，所述加热箱内侧壁固定连接有水箱，所述水箱内设置有呈环绕设置的气体管。本实用新型，通过废气管将废热气体进行利用，通过调节块内的连接腔、连接装置、连接管实现将废热气体排入加热管中进行对工件预热，通过将加热管的气体排入气体管进行对水箱内的水进行加热，通过与加热箱侧壁的蒸汽箱进行加热来自水箱中的温水使其产生热气，保证在化车间生产设备未工作，没有产生废热时对工件的预热。

技术领域

本实用新型涉及废热利用技术领域，尤其涉及一种半导体生产线的废热利用装置。

背景技术

目前的半导体生产车间多为净化车间，里面的生产设备容易产生大量的高温气体而排放掉，废热设备排放出来的高温废热温度一般可以达到80℃左右，如果将这种高温气体直接排放到空气中，那是一种极大的浪费,当前经济发展与资源环境的矛盾日趋尖锐，同时温室气体的排放使得全球气候变暖，进一步加强节能减排工作，是对全球气候变暖、节省能源的迫切需求，也是我们制造业应该承担的责任，

在半导体加工过程中会需要对焊件进行预热，保证在其进行加工时，不会造成强度缺陷，如何将废热与工件预热结合其来，使废热能使用起来是一个重要的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有半导体生产线在高温废热排放中造成浪费与污染的问题，而提出的一种半导体生产线的废热利用装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体生产线的废热利用装置，包括加热箱，所述加热箱上方开设有贯穿侧壁的开口，所述开口内侧壁固定连接有U型块，所述U型块内设置有加热机构，所述加热箱侧壁处连接有蒸汽箱，所述蒸汽箱通过出气管道连接有传输机构，所述加热箱内侧壁固定连接有水箱，所述水箱内设置有呈环绕设置的气体管，所述气体管一端贯穿水箱侧壁向外延伸，所述水箱底部连接有出水管道。

优选地，所述加热机构包括开设在U型块内侧壁上的多个安设孔，所述安设孔内均匀固定连接有两个加热管，所述加热管通过连接管道与气体管连接，所述加热管输出端连接有连接管，位于两侧的所述连接管共同连接有同一个连接装置。

优选地，所述传输机构包括与出气管道连接的调节块，所述调节块内设置有连接腔，所述调节块外侧壁固定连接有环状块，所述环状块内开设有与调节块外侧壁连通的环状槽，位于环状槽处的所述连接腔内侧壁开设有多个贯穿调节块侧壁的调节孔，所述连接腔内侧壁滑动连接有活塞块，所述连接腔侧壁开设有贯穿侧壁的连接孔，所述连接孔连接有废气管，所述废气管贯穿加热箱侧壁向外延伸。

优选地，所述环状块外侧壁上开设有贯穿侧壁的连接口，所述连接口与连接装置连接，所述连接装置内侧壁连接有分割板。

优选地，所述开口侧壁固定连接有铰链合页，所述铰链合页另一页连接有密封盖，所述密封盖上管道连接有橡胶层。

优选地，所述蒸汽箱内设置有加热板，所述蒸汽箱内侧壁开设有贯穿侧壁的进水口，所述进水口与出水管道连接。

本实用新型中有益效果为：

1、通过废气管将废热气体进行利用，通过调节块内的连接腔、连接装置、连接管实现将废热气体排入加热管中进行对工件预热，通过将加热管的气体排入气体管进行对水箱内的水进行加热。

2、通过与加热箱侧壁的蒸汽箱进行加热来自水箱中的温水使其产生热气，通过调节块内的连接腔、连接装置、连接管实现将热气排入加热管中进行对工件预热，保证在化车间生产设备未工作，没有产生废热时对工件的预热。

附图说明