[实用新型]一种半导体生产线的废热利用装置

权利要求书

1.一种半导体生产线的废热利用装置，包括加热箱（1），其特征在于，所述加热箱（1）上方开设有贯穿侧壁的开口，所述开口内侧壁固定连接有U型块（2），所述U型块（2）内设置有加热机构，所述加热箱（1）侧壁处连接有蒸汽箱（3），所述蒸汽箱（3）通过出气管道（4）连接有传输机构，所述加热箱（1）内侧壁固定连接有水箱（5），所述水箱（5）内设置有呈环绕设置的气体管（6），所述气体管（6）一端贯穿水箱（5）侧壁向外延伸，所述水箱（5）底部连接有出水管道（17）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产线的废热利用装置，其特征在于，所述加热机构包括开设在U型块（2）内侧壁上的多个安设孔，所述安设孔内均匀固定连接有两个加热管（7），所述加热管（7）通过连接管道与气体管（6）连接，所述加热管（7）输出端连接有连接管（8），位于两侧的所述连接管（8）共同连接有同一个连接装置（9）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产线的废热利用装置，其特征在于，所述传输机构包括与出气管道（4）连接的调节块（10），所述调节块（10）内设置有连接腔（11），所述调节块（10）外侧壁固定连接有环状块（12），所述环状块（12）内开设有与调节块（10）外侧壁连通的环状槽，位于环状槽处的所述连接腔（11）内侧壁开设有多个贯穿调节块（10）侧壁的调节孔，所述连接腔（11）内侧壁滑动连接有活塞块（13），所述连接腔（11）侧壁开设有贯穿侧壁的连接孔，所述连接孔连接有废气管（14），所述废气管（14）贯穿加热箱（1）侧壁向外延伸，所述环状块（12）外侧壁上开设有贯穿侧壁的连接口，所述连接口与连接装置（9）连接，所述连接装置（9）内侧壁连接有分割板（15）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产线的废热利用装置，其特征在于，所述开口侧壁固定连接有铰链合页，所述铰链合页另一页连接有密封盖（16），所述密封盖（16）上管道连接有橡胶层。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产线的废热利用装置，其特征在于，所述蒸汽箱（3）内设置有加热板，所述蒸汽箱（3）内侧壁开设有贯穿侧壁的进水口，所述进水口与出水管道（17）连接。