[实用新型]一种用于半导体封装的压平机台有效
申请号: | 201921077455.8 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN209747454U | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 吴黎明;翟佶睿;杨轲 | 申请(专利权)人: | 江苏芝麻智能科技有限公司;炘沛半导体科技(溧阳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603 |
代理公司: | 37245 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 初敏敏<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 213300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 模具块 基板 底座 升降台 本实用新型 固定板 压平板 支撑柱 锡球 压平 机台 半导体封装 压平装置 承载台 限位块 位块 半导体 对称 承载 | ||
本实用新型公开了一种用于半导体封装的压平机台,主要涉及半导体生产领域。包括底座,所述底座上设有承载台,所述承载台上设有基板、模具块,所述基板与模具块的高度相同,所述基板上设有锡球,所述底座的两侧对称的设有支撑柱,所述支撑柱上设有固定板,所述固定板的底部设有升降台,所述升降台的底部设有压平板,所述压平板的底部设有限位块,所述限位块位于模具块的正上方。本实用新型的有益效果在于:它可以对锡球进行压平操作时有效的保护基板的完整,提高压平装置的安全性。
技术领域
本实用新型涉及半导体生产领域,具体是一种用于半导体封装的压平机台。
背景技术
半导体现在一般使用由倒装芯片接合的生产技术,大大提高了半导体生产的效率和精度,在半导体的生产中,需要对其上锡球进行压平操作,以保证生产工艺对芯片板之间线路间距的要求,但是现有的压平装置在压制方式上存在误差,也有针对此提出改进的装置,但是这种改进的装置会直接将高度限位装置与芯片的基板相接触,这样很容易对基板造成损伤,在精度控制不当使可能是整个基板压碎,因此需要一种压平装置,能够提高锡球压平精度的同时有效的保护基板的安全。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于半导体封装的压平机台,它可以对锡球进行压平操作时有效的保护基板的完整,提高压平装置的安全性。
本实用新型为实现上述目的,通过以下技术方案实现:
一种用于半导体封装的压平机台,包括底座,所述底座上设有承载台,所述承载台上设有基板、模具块,所述基板与模具块的高度相同,所述基板上设有锡球,所述底座的两侧对称的设有支撑柱,所述支撑柱上设有固定板,所述固定板的底部设有升降台,所述升降台的底部设有压平板,所述压平板的底部设有限位块,所述限位块位于模具块的正上方。
进一步的,所述压平板的底部设有固定保护座,所述固定保护座对称的位于基板两侧的上方,所述固定保护座包括固定块、移动块、滑槽、缓冲弹簧,所述固定块设置在压平板的底部,所述滑槽竖直的设置在固定块上,所述移动块滑动连接在滑槽上,所述缓冲弹簧设置在移动块与压平板之间。
进一步的,所述移动块的底部设有橡胶垫。
进一步的,所述承载台上设有第一凹槽、第二凹槽,所述基板位于第一凹槽内,所述模具块位于第二凹槽内,所述第二凹槽内滑动连接有夹紧块,所述夹紧块与第二凹槽的一端之间设有压缩弹簧。
进一步的,所述压平板为不锈钢组件,所述限位块的顶部设有磁块,所述限位块通过磁块吸合在压平板的底部。
对比现有技术,本实用新型的有益效果在于:
本实用新型在承载台上设置与基板高度相同的模具块,在压平板的底部与模具块对应的位置设置限位块,所述限位块的高度既是需要压平的锡球的高度,当进行压平操作时,所述限位块逐渐下降,当限位块与模具块接触时,所述基板与压平板底部之间的距离即为最终需要压平的锡球的高度,而这个高度与限位块的高度相同,通过控制限位块的高度可以控制压平的高度,但是压平板却不用与基板相接触,有效的保护了基板的安全,保证生产成品的良品率,减小了对原材料的破坏。
附图说明
附图1是本实用新型的结构示意图。
附图2是本实用新型的固定保护座的结构示意图。
附图3是本实用新型的承载台的俯视图。
附图4是本实用新型的附图1中A部位的局部放大图。
附图中所示标号:
1、底座;2、承载台;3、基板;4、模具块;5、锡球;6、支撑柱;7、固定板;8、升降台;9、压平板;10、限位块;11、固定块;12、移动块;13、滑槽;14、缓冲弹簧;15、第一凹槽;16、第二凹槽;17、夹紧块;18、压缩弹簧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏芝麻智能科技有限公司;炘沛半导体科技(溧阳)有限公司,未经江苏芝麻智能科技有限公司;炘沛半导体科技(溧阳)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921077455.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造