[实用新型]全自动扩散装卸片机

权利要求书

1.一种全自动扩散装卸片机，其特征是，包括机台(1)、三轴机械手(2)、吸盘组(3)、硅片升降台(4)、花篮(5)、花篮直线驱动机构(6)、石英舟(7)、石英舟直线驱动机构(8)、超声清洗池(9)、吹气机构(10)和推动气缸(11)，所述机台(1)上固定有三轴机械手(2)、花篮直线驱动机构(6)、石英舟直线驱动机构(8)、推动气缸(11)、超声清洗池(9)，三轴机械手(2)的移动端固定有吸盘组(3)，花篮直线驱动机构(6)的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮(5)，定位板滑配连接在机台(1)上，石英舟直线驱动机构(8)的滑座上固定有石英舟(7)，石英舟(7)滑配连接在机台(1)上，推动气缸(11)的活塞杆端固定在吹气机构(10)上，吹气机构(10)滑配连接在机台(1)上，机台(1)底下设有硅片升降台(4)，机台(1)上开设有用于穿过硅片升降台(4)的穿槽。

2.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述三轴机械手(2)由X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组组成，X轴直线模组的缸体固定在机台(1)上，Y轴直线模组的缸体固定在X轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的缸体固定在Y轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的滑座上固定有吸盘组(3)。

3.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述吸盘组(3)是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组(3)上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。

4.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述硅片升降台(4)是由升降气缸(41)、平板(42)和入料花篮(43)组成，入料花篮(43)通过插销连接在平板(42)上，平板(42)固定在升降气缸(41)的活塞杆端。

5.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述花篮直线驱动机构(6)和石英舟直线驱动机构(8)均为直线模组。

6.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述吹气机构(10)由框体(101)、气嘴(102)和腔室(103)组成，框体(101)顶板上固定有腔室(103)，腔室(103)与气嘴(102)固定并连通，腔室(103)与气泵相连通，气嘴(102)位于框体(101)内，框体(101)固定在推动气缸(11)的活塞杆上，框体(101)滑配连接在机台(1)上。