[实用新型]半导体单晶炉阀板吹气结构

说明书

本实用新型提供半导体单晶炉阀板吹气结构，包括一体式阀体以及可在阀体内转动的阀板，阀板的一侧为阀板轴，阀板轴的右端伸出阀体，阀板轴的右端与导入氩气的氩气进气座可拆卸连接，阀体的外壁上还安装有驱动阀板轴旋转的旋转驱动机构，旋转驱动机构驱动连接氩气进气座；氩气进气座上开设有用于导入氩气的导入孔；阀板上安装有吹气通道，吹气通道与导入孔对接导通，吹气通道上开设有吹气口，以吹气口为吹气通道的出气端。本专利通过优化传统的阀板，在阀板上增设有吹气通道，便于向外吹出气体，实现氧化物的吹离，避免氧化物附着在阀板的外表面。由于将导入孔设置在氩气进气座上，实现阀板旋转的同时，仍能保证吹气通道的正常供气。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体涉及单晶炉。

背景技术

隔离阀是单晶炉的主要部件之一，隔离阀是为籽晶或单晶提供进入副炉室的通道，同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。

为了保证拉晶的成品率，隔离阀的阀板的表面的质量也是影响因素之一。目前单晶炉往往通过炉盖上安装有吹气结构或者水冷法兰上安装有吹气结构，对阀板进行吹气，避免氧化物附着在阀板表面，然而这种方式，仍会导致氧化物积累在阀板的表面的现象。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供半导体单晶炉阀板吹气结构，以解决的吹气结构对阀板上防氧化物附着的吹气效果不佳的技术问题。

本实用新型的技术方案是：半导体单晶炉阀板吹气结构，包括阀体以及可在阀体内转动的阀板，所述阀板的一侧为阀板轴，所述阀板轴的右端伸出所述阀体，其特征在于，所述阀板轴的右端与一用于导入氩气的氩气进气座可拆卸连接，所述阀体的外壁上还安装有一驱动阀板轴旋转的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构驱动连接所述氩气进气座；

所述氩气进气座上开设有用于导入氩气的导入孔；

所述阀板上安装有吹气通道，所述吹气通道与所述导入孔对接导通，所述吹气通道上开设有吹气口，以所述吹气口为所述吹气通道的出气端。

本专利通过优化传统的阀板，在阀板上增设有吹气通道，便于向外吹出气体，实现氧化物的吹离，避免氧化物附着在阀板的外表面。由于将导入孔设置在氩气进气座上，实现阀板旋转的同时，仍能保证吹气通道的正常供气。

进一步优选地，所述阀板轴的左端可拆卸连接有旋转轴，所述旋转轴的左端伸出所述阀体，所述旋转轴的外围套设有左侧压盖，所述左侧压盖与所述阀体可拆卸连接，所述左侧压盖与所述阀体之间安装有密封圈，所述左侧压盖与所述旋转轴之间安装有密封圈；

所述氩气进气座的外围套设有右侧压盖，所述右侧压盖与所述阀体可拆卸连接，所述右侧压盖与所述阀体之间安装有密封圈，所述右侧压盖与所述氩气进气座之间安装有密封圈。

便于实现阀板安装处的密封性。

进一步优选地，所述旋转轴的左端通过螺钉可拆卸连接有一旋转座；

所述旋转座与驱动阀板转动的左侧驱动机构传动连接；

所述左侧驱动机构与所述旋转驱动机构镜像对称设置在所述阀体的左右两侧。

便于实现阀板的左右两端带动阀板的转动。

进一步优选的，所述旋转座设有径向向外延伸的旋转座延伸部；

所述左侧驱动机构包括左侧气缸，所述左侧气缸的缸体铰接在所述阀体上，所述左侧气缸的活塞杆与旋转座延伸部铰接；

所述氩气进气座设有径向向外延伸的氩气进气座延伸部；

所述旋转驱动机构包括右侧气缸，所述右侧气缸的缸体铰接在所述阀体上，所述右侧气缸的活塞杆与氩气进气座延伸部铰接。

便于通过左侧气缸以及右侧气缸的伸缩，进而带动阀板的旋转。