[实用新型]半导体单晶炉阀板吹气结构

权利要求书

1.半导体单晶炉阀板吹气结构，包括阀体以及可在阀体内转动的阀板，所述阀板的一侧为阀板轴，所述阀板轴的右端伸出所述阀体，其特征在于，所述阀板轴的右端与一用于导入氩气的氩气进气座可拆卸连接，所述阀体的外壁上还安装有一驱动阀板轴旋转的旋转驱动机构，所述旋转驱动机构驱动连接所述氩气进气座；

所述氩气进气座上开设有用于导入氩气的导入孔；

所述阀板上安装有吹气通道，所述吹气通道与所述导入孔对接导通，所述吹气通道上开设有吹气口，以所述吹气口为所述吹气通道的出气端。

2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述阀板轴的左端可拆卸连接有旋转轴，所述旋转轴的左端伸出所述阀体，所述旋转轴的外围套设有左侧压盖，所述左侧压盖与所述阀体可拆卸连接，所述左侧压盖与所述阀体之间安装有密封圈，所述左侧压盖与所述旋转轴之间安装有密封圈；

所述氩气进气座的外围套设有右侧压盖，所述右侧压盖与所述阀体可拆卸连接，所述右侧压盖与所述阀体之间安装有密封圈，所述右侧压盖与所述氩气进气座之间安装有密封圈。

3.根据权利要求2所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述旋转轴的左端通过螺钉可拆卸连接有一旋转座；

所述旋转座与驱动阀板转动的左侧驱动机构传动连接；

所述左侧驱动机构与所述旋转驱动机构镜像对称设置在所述阀体的左右两侧。

4.根据权利要求3所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述旋转座设有径向向外延伸的旋转座延伸部；

所述左侧驱动机构包括左侧气缸，所述左侧气缸的缸体铰接在所述阀体上，所述左侧气缸的活塞杆与旋转座延伸部铰接；

所述氩气进气座设有径向向外延伸的氩气进气座延伸部；

所述旋转驱动机构包括右侧气缸，所述右侧气缸的缸体铰接在所述阀体上，所述右侧气缸的活塞杆与氩气进气座延伸部铰接。

5.根据权利要求1所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述吹气通道设置在所述阀板靠近单晶炉下炉室的一侧。

6.根据权利要求1所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述阀体上开设有用于嵌入吹气通道的嵌入槽，所述吹气通道嵌设在嵌入槽内。

7.根据权利要求3所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述阀板上安装有用于输送冷却水的水冷管道，所述氩气进气座上开设有与所述水冷管道对接导通的进水孔，所述旋转座上开设有与所述水冷管道对接导通的出水孔；

所述水冷管道与所述吹气通道沿着轴向依次设置。

8.根据权利要求1所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述吹气通道包括主通道以及两个平行设置的分支通道，所述主通道与所述导入孔对接导通，所述分支通道与所述主通道对接导通；

所述吹气通道还包括至少三个沿着径向从内至外依次排布的弧形通道，至少三个弧形通道依次交替与两个分支通道对接导通。

9.根据权利要求8所述的半导体单晶炉阀板吹气结构，其特征在于：所述弧形通道上均匀开设有至少5个吹气口。