[实用新型]一种紫外发光二极管外延结构有效
申请号: | 201921032380.1 | 申请日: | 2019-07-03 |
公开(公告)号: | CN210156413U | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 农明涛;庄家铭;贺卫群;郭嘉杰;仇美懿 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/04;H01L33/06;H01L33/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紫外 发光二极管 外延 结构 | ||
1.一种紫外发光二极管外延结构,其特征在于,包括依次设于衬底上的AlN层、过渡层、N型AlGaN层、有源层、阻挡层和P型AlGaN层;
所述有源层由若干个周期的量子阱结构组成,所述量子阱结构包括AlGaN阱层和AlGaN垒层;
所述过渡层由若干个周期的AlN/AlGaN超晶格结构组成,每个周期的AlN/AlGaN超晶格结构包括AlN层和第一AlGaN层。
2.如权利要求1所述的紫外发光二极管外延结构,其特征在于,所述过渡层的厚度为200~400nm。
3.如权利要求2所述的紫外发光二极管外延结构,其特征在于,每个AlN/AlGaN超晶格结构的厚度为2~10nm。
4.如权利要求3所述的紫外发光二极管外延结构,其特征在于,所述AlN层的厚度为1~5nm,所述第一AlGaN层的厚度为1~5nm。
5.如权利要求1所述的紫外发光二极管外延结构,其特征在于,所述有源层由3~5个周期的量子阱结构组成。
6.如权利要求5所述的紫外发光二极管外延结构,其特征在于,所述AlGaN阱层的厚度为3~8nm,所述AlGaN垒层的厚度为4~10nm。
7.如权利要求1所述的紫外发光二极管外延结构,其特征在于,所述阻挡层为P型AlGaN层,所述阻挡层的厚度为30~60nm。
8.如权利要求1所述的紫外发光二极管外延结构,其特征在于,所述AlN层的厚度是2~4μm。
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