[实用新型]一种半导体元器件3D检测机有效
申请号: | 201920763913.7 | 申请日: | 2019-05-26 |
公开(公告)号: | CN210073771U | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 凌永康;杜良辉;孙国标 | 申请(专利权)人: | 江苏壹度科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支撑杆 底板 半导体元器件 本实用新型 传动装置 前表面 穿孔 显示屏 半导体设备 半导体元件 上下移动 转轴转动 上表面 水平端 支撑架 检测 底端 套环 穿过 | ||
1.一种半导体元器件3D检测机,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的后表面设有箱门(11),所述箱门(11)与所述箱体的连接处设有铰链(111),所述箱门(11)通过所述铰链(111)与所述箱体(1)铰接,所述箱体(1)的下表面四角均设置有支撑脚(12),所述箱体(1)的内设有底板(2),所述底板(2)的一侧紧密焊接有两个固定块(21),所述固定块(21)上设有固定螺栓(211),所述固定块(21)通过所述固定螺栓(211)与所述箱体(1)的内壁固定连接,所述底板(2)的上表面设有L形支架(22),所述L形支架(22)的竖直端与所述底板(2)的上表面紧密焊接,所述L形支架(22)的水平端设有第一通孔(221),所述L形支架(22)上安装有气缸(23),所述气缸(23)伸出所述第一通孔(221)的一端安装有3D相机(231),所述底板(2)的上表面一端设有两个圆孔(24),所述底板(2)的上表面另一端紧密焊接有第一转轴(241),所述底板(2)的上表面位于两个所述圆孔(24)的位置处均设置有传动装置(3),所述传动装置(3)包括主动轮(31)和从动轮(32),所述主动轮(31)和所述从动轮(32)之间设有传动带(33),所述传动带(33)上设有若干个凸起(331),所述底板(2)的下表面设有两个电机(34),所述电机(34)的输出端穿过所述圆孔(24)的一端与所述主动轮(31)紧密焊接,所述从动轮(32)通过所述第一转轴(241)与所述底板(2)转动连接,两个所述传动装置(3)之间设有置物板(35),所述置物板(35)的下表面紧密粘接有夹块(351),所述夹块(351)的两侧均设置有若干个卡槽(352)。
2.根据权利要求1所述的半导体元器件3D检测机,其特征在于:所述夹块(351)位于两个所述传动带(33)之间,所述凸起(331)通过所述卡槽(352)与所述夹块(351)卡接配合。
3.根据权利要求1所述的半导体元器件3D检测机,其特征在于:所述电机(34)上紧密焊接有圆环(341),所述圆环(341)的两侧均设置有第一螺栓(342),所述圆环(341)通过所述第一螺栓(342)与所述底板(2)的下表面固定连接。
4.根据权利要求1所述的半导体元器件3D检测机,其特征在于:所述箱体(1)的前表面设有U形支架(4),所述U形支架(4)的竖直端设有若干个第二通孔(41),所述第二通孔(41)内设有安装螺栓(411),所述U形支架(4)通过所述安装螺栓(411)与所述箱体(1)的前表面固定连接,所述U形支架(4)的两个水平端之间紧密焊接有支撑杆(42),所述支撑杆(42)的顶端设有调节座(5),所述调节座(5)的一端设有穿孔(51),所述调节座(5)的一侧设有螺孔(52),所述螺孔(52)与所述穿孔(51)连通,所述螺孔(52)内设有限位螺栓(521),所述调节座(5)的另一端紧密焊接有第二转轴(53),所述第二转轴(53)上设有支撑架(54),所述支撑架(54)的一端设有显示屏(55),所述支撑杆(42)的底端设有套环(6),所述套环(6)上紧密焊接有转动座(61),所述转动座(61)上设有第三转轴(611),所述转动座(61)上设有连接头(62),所述连接头(62)的一端设有第三通孔(621),所述连接头(62)的另一端紧密焊接有托板(63),所述托板(63)上设有凹槽(631)。
5.根据权利要求4所述的半导体元器件3D检测机,其特征在于:所述支撑架(54)的一端紧密焊接有圆盘(541),所述圆盘(541)上设有若干个第二螺栓(542),所述圆盘(541)通过所述第二螺栓(542)与所述显示屏(55)固定连接。
6.根据权利要求4所述的半导体元器件3D检测机,其特征在于:所述穿孔(51)的直径与所述支撑杆(42)的直径相适配,所述调节座(5)通过所述穿孔(51)与所述支撑杆(42)套接配合,所述限位螺栓(521)通过所述螺孔(52)与所述调节座(5)螺纹连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造