[实用新型]一种新型高压腔进气出气装置

说明书

本实用新型提供一种新型高压腔进气出气装置，气源进气管道安装在气路安装盘上，所述气源进气管道一端连接气源，另一端连接高压腔体，气源进气管道上连接过滤器，过滤器通过气源进气管道连接进气调压阀，气源进气管道经减压器减压后经三通接头一分为二，一路接进气隔膜阀，一路接进气手动阀后合再接三通接头二为一，连接进气调节针阀，气源进气管道经进气调节针阀后连接腔体进出气管道，腔体进出气管道另一端直接连接高压腔体，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：使高压腔体内的气氛更加稳定，安装可靠，大大提升了材料生长的性能指标和一致性，降低了人为操作的失误率。

技术领域

本实用新型是一种新型高压腔进气出气装置，涉及一种半导体材料高压晶体生长工艺设备。

背景技术

晶体生长设备用于处理半导体材料如磷化铟等高压，在磷化铟材料生长过程中必须保持一定的高压气氛。

目前同类产品中，普通的晶体生长炉设备在磷化铟生长过程中，高压气氛会随温度的变化而改变，需要不断的进行充气、放气的过程，大多设备采用人工操作的方式，这样操作效率低，成本大，产品稳定性不好，而且在高压气氛时，充放气的精准度不高，充气压力往往瞬间增大很多，对晶体生长带来极大的不便。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型高压腔进气出气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型高压腔进气出气装置，包括高压腔体、气路安装盘、过滤器、进气调压阀、压力传感器、进气隔膜阀、放气隔膜阀、进气调节针阀、出气调节针阀、压力表、进气手动阀、放气手动阀、气源进气管道、腔体进出气管道、放气管道、单向阀、卸荷阀，所述气源进气管道安装在气路安装盘上，所述气源进气管道一端连接气源，另一端连接高压腔体，气源进气管道上连接过滤器，过滤器通过气源进气管道连接进气调压阀，气源进气管道经减压器减压后经三通接头一分为二，一路接进气隔膜阀，一路接进气手动阀后合再接三通接头二为一，连接进气调节针阀，气源进气管道经进气调节针阀后连接腔体进出气管道，腔体进出气管道另一端直接连接高压腔体；

在腔体进出气管道上安装有三通接头，连接放气管道，放气管道的另一端安装有单向阀，与三通连接接头连接在一起，单向阀另一端连接四通接头，将出气一分为三，其中一路连接放气手动阀，一路连接放气隔膜阀，剩余一路连接卸荷阀。

进一步地，放气气体经放气手动阀和放气隔膜阀后合并，连接放气调节针阀。

进一步地，在腔体进出气管道上安装有压力传感器。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种新型高压腔进气出气装置，使高压腔体内的气氛更加稳定，安装可靠，大大提升了材料生长的性能指标和一致性，降低了人为操作的失误率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种新型高压腔进气出气装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种新型高压腔进气出气装置的气路原理示意图；

图3为本实用新型一种新型高压腔进气出气装置的压力控制原理示意图；

图中：高压腔体1、气路安装盘2、过滤器3、进气调压阀4、压力传感器5、进气隔膜阀6、放气隔膜阀7、进气调节针阀8、出气调节针阀9、进气手动阀10、放气手动阀11、气源进气管道12、腔体进出气管道13、放气管道14、单向阀15、卸荷阀16。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。