[实用新型]一种新型高压腔进气出气装置有效
| 申请号： | 201920761818.3 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN210065982U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B1/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气源进气管 气源 过滤器 本实用新型 高压腔体 进气调节 进气管道 三通接头 一端连接 进出气 针阀 进气调压阀 进气隔膜阀 进气手动阀 材料生长 出气装置 连接腔体 新型高压 减压 一分为二 安装盘 高压腔 减压器 失误率 进气 气路 腔体 体内 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型高压腔进气出气装置，包括高压腔体、气路安装盘、过滤器、进气调压阀、压力传感器、进气隔膜阀、放气隔膜阀、进气调节针阀、出气调节针阀、压力表、进气手动阀、放气手动阀、气源进气管道、腔体进出气管道、放气管道、单向阀、卸荷阀，其特征在于：所述气源进气管道安装在气路安装盘上，所述气源进气管道一端连接气源，另一端连接高压腔体，气源进气管道上连接过滤器，过滤器通过气源进气管道连接进气调压阀，气源进气管道经减压器减压后经三通接头一分为二，一路接进气隔膜阀，一路接进气手动阀后合再接三通接头二为一，连接进气调节针阀，气源进气管道经进气调节针阀后连接腔体进出气管道，腔体进出气管道另一端直接连接高压腔体；
在腔体进出气管道上安装有三通接头，连接放气管道，放气管道的另一端安装有单向阀，与三通连接接头连接在一起，单向阀另一端连接四通接头，将出气一分为三，其中一路连接放气手动阀，一路连接放气隔膜阀，剩余一路连接卸荷阀。
2.根据权利要求1所述的一种新型高压腔进气出气装置，其特征在于：放气气体经放气手动阀和放气隔膜阀后合并，连接放气调节针阀。
3.根据权利要求1所述的一种新型高压腔进气出气装置，其特征在于：在腔体进出气管道上安装有压力传感器。
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