[实用新型]一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于，所述装置包括：

设置在竖直方向上的彼此相对的可升降的上加热器(1)和可升降的下加热器(2)；

支撑架(3)，固定设置在所述下加热器(2)上，且位于所述下加热器(2)和所述上加热器(1)之间；

托盘(4)，设置在所述支撑架(3)远离所述下加热器(2)的一侧，用于承载基板；

悬浮催化剂装置(6)，用于提供催化剂至所述基板正上方；

所述支撑架(3)的平行所述下加热器(2)和所述托盘两者的横截面的尺寸从所述下加热器(2)至所述托盘(4)逐渐减小，且所述托盘(4)用于承载基板的表面高于所述支撑架(3)；

所述支撑架(3)可导电，所述基板通过所述托盘(4)内嵌装的导电线电连接所述支撑架(3)。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于：所述支撑架(3)的材质为钨、钼、钽之一。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于：所述支撑架(3)包括多根第一支撑柱(31)；

各所述第一支撑柱(31)均匀设置在所述下加热器(2)上，并背离所述下加热器(2)延伸，并共同连接且承载所述托盘(4)。

4.根据权利要求3所述的化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于：所述第一支撑柱(31)连接所述托盘(4)的一端端面设置有用于固定连接所述托盘(4)的钳口(32)。

5.根据权利要求3所述的化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于：意两相邻所述第一支撑柱(31)之间均设置有子架(33)；

所述子架(33)支撑固定与该子架(33)相邻的两所述第一支撑柱(31)。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于：所述子架(33)包括交叉设置的第一纵柱(331)和第一横柱(332)；

所述第一纵柱(331)的一端固定连接所述下加热器(2)，所述第一纵柱(331)的另一端固定连接所述第一横柱(332)的中间部位，所述第一横柱(332)的两端分别固定连接两相邻的所述第一支撑柱(31)。

7.根据权利要求6所述的化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于：所述第一横柱(332)包括两固定连接的第一子横柱；

所述第一子横柱的一端固定连接与之相邻的所述第一支撑柱(31)，所述第一子横柱的另一端固定连接与之相邻的所述第一纵柱(331)；且所述第一子横柱固定连接所述第一纵柱(331)的一端低于所述第一子横柱固定连接所述第一支撑柱(31)的一端。

8.根据权利要求1所述的化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于：所述托盘(4)用于承载所述基板的表面上设置有第一凹槽，所述第一凹槽内放置有第一导电板，第一导电板上可放置所述基板；

所述托盘(4)内设置有第一通槽，所述第一通槽垂直并连通所述第一凹槽，且延伸至所述托盘(4)的相对侧表面；

所述第一通槽内嵌装有第一导电线，所述第一导电线的一端连接所述第一导电板，所述第一导电线的另一端连接所述支撑架(3)。

9.根据权利要求8所述的化学气相沉积生产石墨烯异质结的装置，其特征在于：所述托盘(4)包括平行放置且固定连接的第一盘和第二盘；

所述第一盘位于所述第二盘的上方，且两者同轴设置，及所述第一盘的面积小于所述第二盘的面积；

所述第二盘固定连接所述支撑架(3)；

所述第一盘远离所述第二盘的表面设置有所述第一凹槽，所述第一凹槽内可放置所述第一导电板；

所述第一盘内设置有一部分所述第一通槽，所述第一通槽垂直并连通所述第一凹槽，且所述第一通槽的另一部分延伸至所述第二盘远离所述第一盘的表面；

所述第一盘远离所述第二盘的表面高于所述支撑架(3)。