[实用新型]晶圆取用装置

权利要求书

1.一种晶圆取用装置，其特征在于，包括取用支架、摩擦小柱(1)和检测件(2)；

所述取用支架包括至少两个支臂(3)；

所述摩擦小柱(1)为至少两个且分别可活动地置于至少两个所述支臂(3)上，所述摩擦小柱(1)的上表面突出于所述支臂(3)的上表面；

所述检测件(2)嵌入在所述取用支架上且其厚度小于所述取用支架的厚度。

2.根据权利要求1所述的晶圆取用装置，其特征在于，所述取用支架还包括主臂(4)，至少两个所述支臂(3)分别连接在所述主臂(4)的一端，所述主臂(4)的另一端与驱动机构连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆取用装置，其特征在于，所述摩擦小柱(1)为至少三个，其中两个所述摩擦小柱(1)分别可活动地置于至少两个所述支臂(3)上，另一个所述摩擦小柱(1)可活动地置于所述主臂(4)上或其中一个所述支臂(3)上；所述摩擦小柱(1)的上表面突出于所述支臂(3)和所述主臂(4)的上表面。

4.根据权利要求2所述的晶圆取用装置，其特征在于，所述晶圆取用装置还包括线缆压紧件(5)，在所述主臂(4)上和/或所述支臂(3)上开设有线缆容置槽(6)，所述线缆压紧件(5)将所述检测件(2)的线缆压紧在所述线缆容置槽(6)内。

5.根据权利要求4所述的晶圆取用装置，其特征在于，所述线缆压紧件(5)的厚度小于所述取用支架的厚度。

6.根据权利要求2所述的晶圆取用装置，其特征在于，所述主臂(4)和/或所述支臂(3)上开设有用以卡接所述摩擦小柱(1)的卡槽，所述摩擦小柱(1)卡接在所述卡槽内。

7.根据权利要求2所述的晶圆取用装置，其特征在于，所述晶圆取用装置还包括控制器，所述控制器分别与所述检测件(2)和所述驱动机构通信连接，所述控制器根据所述检测件(2)的检测信号控制所述驱动机构。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆取用装置，其特征在于，沿所述摩擦小柱(1)的轴向开设有通孔。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆取用装置，其特征在于，所述摩擦小柱(1)由柔性耐磨材料制成。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆取用装置，其特征在于，所述取用支架由刚性材料制成。