[实用新型]一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板

权利要求书

1.一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于，包括底座，底座上设置有至少1条导轨，导轨上通过滑块活动连接有移动座，移动座上设置有工作台，工作台上放置有晶圆，晶圆表面覆盖有一层研磨胶膜，所述晶圆上方对应设有输送胶带的输送机构，胶带位于晶圆上方，胶带下侧表面设有一层热熔胶，所述晶圆上方还对应设有水平的升降杆，升降杆轴线与导轨轴线相垂直，升降杆上固定连接有压板，压板倾斜设置，压板上设置有加热组件，压板前侧设有隔热板，胶带与隔热板相接触。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于，所述输送机构包括固定支架，固定支架上可转动地设有前传动辊、中传动辊和后传动辊，中传动辊位于前传动辊、后传动辊的下方，各传动辊的轴线互相平行，传动辊的轴线与导轨轴线相垂直，固定支架下侧设有固定下压辊，固定下压辊与前传动辊平行设置，胶带沿着前传动辊上侧经过，绕过中传动辊下侧后沿着隔热板前侧延伸，依次绕过中传动辊和后传动辊的上侧并向后延伸。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于，所述压板的左右两侧均设置有侧板，侧板上开设有安装孔一，压板上开设有安装孔二，加热组件包括设置在安装孔二内的电热偶和设置在安装孔一内的电阻丝。

4.根据权利要求1或2所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于，所述移动座上设置有电机，电机的输出轴竖直设置，电机的输出轴向下穿过移动座并设有齿轮，导轨侧面轴向设有齿条，齿轮与齿条相啮合。

5.根据权利要求1或2所述的一种晶圆研磨胶膜撕胶用加热型压板，其特征在于，所述升降杆上方对应设置有气缸，气缸的活塞杆伸出端竖直向下设置并与升降杆相连。