[发明专利]脉冲电镀试剂成分检测方法

权利要求书

1.一种脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，包括：

通过对电极进行极化处理以剥离所述电极表面的杂质；

通过循环伏安处理以对所述电极进行活化；

对所述电极进行预镀处理，以在所述电极表面沉积金属铜层；

将所述电极放置于待测电镀试剂中并对所述电极施加反向电流；

测量所述电极的实时电压变化量峰值，通过所述实时电压变化量峰值与标准电压变化量峰值进行对比，以分析所述待测电镀试剂中副产物的相对含量。

2.根据权利要求1所述的脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，还包括：

设置参照电极及标准电镀试剂；

将所述参照电极放置于所述标准电镀试剂中并施加反向电流；

测量所述参照电极的实时标准电压变化量峰值，以获取标准电压变化曲线。

3.根据权利要求1所述的脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，所述极化处理，包括：

所述电极包括阳极和阴极；

将所述阳极、所述阴极放置于硫酸溶液中；

对所述阳极施加电压，以使所述阳极的电势高于或等于析氧电极电势；

对所述阴极施加电压，以使所述阴极的电势高于或等于析氢电极电势。

4.根据权利要求1所述的脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，对所述电极进行活化，包括：

设置辅助电极、参比电极，并通过所述辅助电极、所述参比电极与所述电极构建三电极体系；

对所述电极施加正负循环电压。

5.根据权利要求4所述的脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，所述辅助电极为铂电极，所述参比电极为饱和甘汞电极，所述电极为铂金电极。

6.根据权利要求1所述的脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，所述预镀处理包括：

将所述电极设置于无机对比电镀液中；

对所述电极施加正向电压，以在所述电极表面沉积金属铜层。

7.根据权利要求6所述的脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，所述预镀处理包括：对所述电极施加正向电压，以使所述电极的电流值为0.22mA，且持续时间为180S。

8.根据权利要求1所述的脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，通过施加所述反向电压，以使所述电极表面的金属铜层分解；

通过测量所述金属铜层分解过程中，所述电极的实时电压变化曲线以获取所述实时电压变化量峰值。

9.根据权利要求6所述的脉冲电镀试剂成分检测方法，其特征在于，所述无机对比电镀液中包括；无水硫酸铜及盐酸、硫酸。