[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示面板在审
申请号: | 201911266283.3 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN111063697A | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 彭浩 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L21/84 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 远明 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
本发明涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板。一方面,本发明通过在显示区设置有机层。由此可以释放阵列基板在多次弯折时产生的应力。另一方面,本发明在不增加新的掩膜板数量的前提下,通过半色调掩膜工艺对凹槽处的有机材料进行部分去除,对显示区的其他区域进行曝光完全去除,对弯折区的有机光阻层的有机材料进行保留,以致所述有机层远离所述基板的表面与所述层间绝缘层远离所述基板的表面平齐,最终达到上层源漏极层设置时无断差,避免其增加过孔深度,导致走线过孔金属沉积受阻形貌不够完整,使得过孔金属连接易出现断线,导致Panel在信号传输受到影响,画面显示异常。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板。
背景技术
有机发光显示装置(英文全称:Organic Light-Emitting Diode,简称OLED)又称为有机电激光显示装置、有机发光半导体。OLED的工作原理是:当电力供应至适当电压时,正极空穴与阴极电荷就会在发光层中结合,在库伦力的作用下以一定几率复合形成处于激发态的激子(电子-空穴对),而此激发态在通常的环境中是不稳定的,激发态的激子复合并将能量传递给发光材料,使其从基态能级跃迁为激发态,激发态能量通过辐射驰豫过程产生光子,释放出光能,产生光亮,依其配方不同产生红、绿和蓝RGB三基色,构成基本色彩。
OLED具有电压需求低、省电效率高、反应快、重量轻、厚度薄,构造简单,成本低、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点,已经成为当今最重要的显示技术之一。
由于柔性显示面板在使用过程中需进行多次弯折,弯折过程中由于应力作用容易产生裂纹。同时由于现有的有机膜层对比无机膜层有更好的应力释放的作用,因此通过在走线空白区域进行挖孔,对挖孔部分进行有机膜层填充,以达到应力释放的作用。由于需保留挖孔结构中有机膜层填充,若对其他区域有机膜层进行去除,将导致填充挖孔区域产生较大的断差在后续金属层覆盖中易发生断线,故使得大面积有机膜层保留在叠层结构中。由此会导致在过孔走线连接位置,由于有机膜层极大增加过孔深度,导致走线过孔金属沉积受阻形貌不够完整,使得过孔金属连接易出现断线,导致Panel在信号传输受到影响,画面显示异常。因此,需要寻找一种新型的显示面板以解决上述问题。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板,其能够解决现有显示面板中存在的有机膜层极大增加过孔深度,导致走线过孔金属沉积受阻形貌不够完整,使得过孔金属连接易出现断线,导致Panel在信号传输受到影响,画面显示异常。
为了解决上述问题,本发明的一个实施方式提供了一种阵列基板,其定义有显示区和弯折区。所述阵列基板包括:基板、阻挡层、绝缘层、导电层以及层间绝缘层。其中所述阻挡层设置于所述基板上;所述绝缘层设置于所述阻挡层上;所述导电层间隔设置于所述绝缘层中;所述层间绝缘层设置于所述导电层上;所述显示区的层间绝缘层远离所述基板的表面向下凹陷直至所述阻挡层形成凹槽,所述凹槽内填充有机材料形成有机层;所述有机层远离所述基板的表面与所述层间绝缘层远离所述基板的表面平齐。
进一步的,其中所述阵列基板还包括:缓冲层、有源层、源漏极层以及平坦层。其中所述缓冲层设置于所述阻挡层与所述绝缘层之间,其中所述有机层贯穿所述缓冲层;所述有源层设置于所述缓冲层与所述绝缘层之间;所述源漏极层设置于所述层间绝缘层上;所述源漏极层通过过孔连接于所述有源层上;所述平坦层设置于所述源漏极层上。
进一步的,其中绝缘层包括第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层;所述导电层包括第一栅极层和第二栅极层。其中所述第一栅极绝缘层设置于所述阻挡层上;所述第一栅极层设置于所述第一栅极绝缘层上;所述第二栅极绝缘层设置于所述第一栅极层上;所述第二栅极层设置于所述第二栅极绝缘层上,所述层间绝缘层设置于所述第二栅极层上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的