[发明专利]触控面板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201911249336.0 申请日: 2019-12-09
公开(公告)号: CN111142703B 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 谢铭 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 远明
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 面板 及其 制作方法
【说明书】:

发明公开了一种触控面板及其制作方法。本发明通过在触控面板上形成由两层金属层所构成的金属网格,并在该金属网格的上下接触面分别增加一保护层,使得该金属网格更具韧性,从而增强触控面板整体的抗弯折性能以及可靠性能。

技术领域

本发明属于显示技术领域,尤其涉及一种触控面板及其制作方法。

背景技术

随着显示技术的快速发展,有源矩阵有机发光二极体(active-matrix organiclight-emitting diode,AMOLED)柔性显示引起了人们极大关注,包括全面屏、可弯折,甚至可折叠,固定曲线形状的手机在未来市场会被广泛应用。柔性显示技术可以改变显示器件的形状,增加了显示的灵活性和多样性,因此有望为显示技术领域带来重大变革。

一体型触摸式显示屏(Y-OCTA)技术被三星开发且运用在柔性触控显示技术上,该设计利用金属网格直接在封装层上做触控线路,大大减少了原有外挂触控层和光学透明胶的厚度,使触控更薄更利于弯折。利用轻质高强导电性能良好的金属网格代替弯折性能较差的氧化铟锡材料。

然而无论是钛/铝/钛或纳米银线等性能优异的材料,在可靠性能方面都很难使产品达到优异的性能,特别发生在可弯曲或可折叠特征的柔性面板的机械可靠性不良,是此类产品的大规模生产的主要障碍,并且在连续多次数的弯折后会使材料裂解使其加速产品失效,尤其发生在显示面板触控层中的金属网格的连接处,在多次弯折之后,触控层中的触控线路容易遭到破坏,使其失去触控功能。

因此,如何提升触控面板中的金属网格的整体性能,是显示技术中的一项重要课题。

发明内容

本发明实施例提供一种触控面板及其制作方法,在触控面板上形成由两层金属层所构成的金属网格,并在该金属网格的上下接触面分别增加一保护层,使得该金属网格更具韧性,从而增强触控面板整体的抗弯折性能以及可靠性能。

根据本发明的一方面,本发明提供一种触控面板,其包括:一无机层;一第一保护层,设于所述无机层上;一第一金属层,设于所述第一保护层上;一钝化层,覆盖在所述第一保护层及所述第一金属层上,所述钝化层设有至少一过孔;一第二保护层,设于所述钝化层上,并通过所述至少一过孔与所述第一保护层相连;一第二金属层,设于所述第二保护层上;以及一有机层,设于所述第二金属层上。

进一步地,所述触控面板还包括:一封装层,设于所述无机层下;以及一偏光层,设于所述有机层上。

进一步地,所述无机层和所述钝化层的材料均包括氮化硅、氮氧化硅、碳氮化硅及氧化硅的至少一种。

进一步地,所述第一金属层和所述第二金属层的材料均包括钛/铝/钛及纳米银线的至少一种。

进一步地,所述第一保护层和所述第二保护层的材料包括石墨烯。

根据本发明的另一方面,本发明提供一种触控面板的制作方法,其包括以下步骤:提供一封装层,在所述封装层上依次形成无机层、第一保护层以及第一金属层;图形化所述第一保护层及所述第一金属层,并在所述无机层上形成钝化层,所述钝化层覆盖所述第一保护层及所述第一金属层;在所述钝化层上形成至少一过孔,并在所述钝化层上形成第二保护层,所述第二保护层通过所述至少一过孔与所述第一保护层相连;在所述第二保护层上形成第二金属层;以及图形化所述第二保护层及所述第二金属层,并在所述第二金属层上依次形成有机层及偏光层。

进一步地,在所述封装层上依次形成无机层、第一保护层以及第一金属层的步骤中,通过涂布方式形成所述无机层,通过化学气相沉积方式形成所述第一保护层,通过物理气相沉积方式形成所述第一金属层。

进一步地,在所述图形化所述第一保护层及所述第一金属层的步骤中,通过干蚀刻图形化所述第一保护层及所述第一金属层。

进一步地,在所述钝化层上形成第二保护层的步骤中,通过化学气相沉积方式形成所述第二保护层,并通过干蚀刻图形化所述第二保护层。

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