[发明专利]触控面板及其制作方法有效
申请号: | 201911249336.0 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN111142703B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 谢铭 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 远明 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种触控面板,其特征在于,包括:
一无机层;
一第一保护层,设于所述无机层上;
一第一金属层,设于所述第一保护层上;
一钝化层,覆盖在所述第一保护层及所述第一金属层上,所述钝化层设有至少一过孔;
一第二保护层,设于所述钝化层上,并通过所述至少一过孔与所述第一保护层相连;
一第二金属层,设于所述第二保护层上;以及
一有机层,设于所述第二金属层上。
2.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述触控面板还包括:
一封装层,设于所述无机层下;以及
一偏光层,设于所述有机层上。
3.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述无机层和所述钝化层的材料均包括氮化硅、氮氧化硅、碳氮化硅及氧化硅的至少一种。
4.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述第一金属层和所述第二金属层的材料均包括钛/铝/钛及纳米银线的至少一种。
5.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述第一保护层和所述第二保护层的材料包括石墨烯。
6.一种触控面板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一封装层,在所述封装层上依次形成无机层、第一保护层以及第一金属层;
图形化所述第一保护层及所述第一金属层,并在所述无机层上形成钝化层,所述钝化层覆盖所述第一保护层及所述第一金属层;
在所述钝化层上形成至少一过孔,并在所述钝化层上形成第二保护层,所述第二保护层通过所述至少一过孔与所述第一保护层相连;
在所述第二保护层上形成第二金属层;以及
图形化所述第二保护层及所述第二金属层,并在所述第二金属层上依次形成有机层及偏光层。
7.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,在所述封装层上依次形成无机层、第一保护层以及第一金属层的步骤中,通过涂布方式形成所述无机层,通过化学气相沉积方式形成所述第一保护层,通过物理气相沉积方式形成所述第一金属层。
8.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,在所述图形化所述第一保护层及所述第一金属层的步骤中,通过干蚀刻图形化所述第一保护层及所述第一金属层。
9.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,在所述钝化层上形成第二保护层的步骤中,通过化学气相沉积方式形成所述第二保护层,并通过干蚀刻图形化所述第二保护层。
10.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,在所述第二保护层上形成第二金属层的步骤中,通过物理气相沉积方式形成所述第二金属层,并通过干蚀刻图形化所述第二金属层。
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