[发明专利]触控面板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201911249336.0 申请日: 2019-12-09
公开(公告)号: CN111142703B 公开(公告)日: 2023-03-28
发明(设计)人: 谢铭 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 远明
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 面板 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种触控面板,其特征在于,包括:

一无机层;

一第一保护层,设于所述无机层上;

一第一金属层,设于所述第一保护层上;

一钝化层,覆盖在所述第一保护层及所述第一金属层上,所述钝化层设有至少一过孔;

一第二保护层,设于所述钝化层上,并通过所述至少一过孔与所述第一保护层相连;

一第二金属层,设于所述第二保护层上;以及

一有机层,设于所述第二金属层上。

2.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述触控面板还包括:

一封装层,设于所述无机层下;以及

一偏光层,设于所述有机层上。

3.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述无机层和所述钝化层的材料均包括氮化硅、氮氧化硅、碳氮化硅及氧化硅的至少一种。

4.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述第一金属层和所述第二金属层的材料均包括钛/铝/钛及纳米银线的至少一种。

5.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述第一保护层和所述第二保护层的材料包括石墨烯。

6.一种触控面板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供一封装层,在所述封装层上依次形成无机层、第一保护层以及第一金属层;

图形化所述第一保护层及所述第一金属层,并在所述无机层上形成钝化层,所述钝化层覆盖所述第一保护层及所述第一金属层;

在所述钝化层上形成至少一过孔,并在所述钝化层上形成第二保护层,所述第二保护层通过所述至少一过孔与所述第一保护层相连;

在所述第二保护层上形成第二金属层;以及

图形化所述第二保护层及所述第二金属层,并在所述第二金属层上依次形成有机层及偏光层。

7.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,在所述封装层上依次形成无机层、第一保护层以及第一金属层的步骤中,通过涂布方式形成所述无机层,通过化学气相沉积方式形成所述第一保护层,通过物理气相沉积方式形成所述第一金属层。

8.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,在所述图形化所述第一保护层及所述第一金属层的步骤中,通过干蚀刻图形化所述第一保护层及所述第一金属层。

9.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,在所述钝化层上形成第二保护层的步骤中,通过化学气相沉积方式形成所述第二保护层,并通过干蚀刻图形化所述第二保护层。

10.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,在所述第二保护层上形成第二金属层的步骤中,通过物理气相沉积方式形成所述第二金属层,并通过干蚀刻图形化所述第二金属层。

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