[发明专利]片状粘合材料的粘贴方法和片状粘合材料的粘贴装置在审
申请号: | 201911126872.1 | 申请日: | 2019-11-18 |
公开(公告)号: | CN111383983A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 石井直树;松下孝夫 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社;日东精机株式会社 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 片状 粘合 材料 粘贴 方法 装置 | ||
1.一种片状粘合材料的粘贴方法,其是相对于工件粘贴预定形状的片状粘合材料的片状粘合材料的粘贴方法,
该片状粘合材料的粘贴方法的特征在于,具有:
粘贴过程,在该过程中,在利用粘合材料保持构件保持着所述片状粘合材料的状态下,将所述片状粘合材料粘贴于所述工件;以及
分离过程,在该过程中,从粘贴于所述工件的所述片状粘合材料分离所述粘合材料保持构件。
2.根据权利要求1所述的片状粘合材料的粘贴方法,其特征在于,
所述粘合材料保持构件为长条状的粘合带,通过将所述粘合带粘贴于所述预定形状的片状粘合材料来保持所述预定形状的片状粘合材料。
3.根据权利要求2所述的片状粘合材料的粘贴方法,其特征在于,
所述粘合带的、至少与所述预定形状的片状粘合材料的端部相接触的部分由具有透光性的材料构成。
4.根据权利要求1所述的片状粘合材料的粘贴方法,其特征在于,
所述粘合材料保持构件为具有吸附孔的板状构件,所述板状构件通过吸附所述预定形状的片状粘合材料来保持所述预定形状的片状粘合材料。
5.根据权利要求4所述的片状粘合材料的粘贴方法,其特征在于,
所述板状构件的、至少与所述预定形状的片状粘合材料的端部相接触的部分由具有透光性的材料构成。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的片状粘合材料的粘贴方法,其特征在于,
该片状粘合材料的粘贴方法具有接近过程,在该接近过程中,使由所述粘合材料保持构件保持的所述片状粘合材料的粘合面与所述工件的粘贴面的距离接近,以成为预定的距离,
所述粘贴过程在通过所述接近过程使所述片状粘合材料的粘合面与所述工件的粘贴面接近为所述预定的距离之后进行。
7.根据权利要求6所述的片状粘合材料的粘贴方法,其特征在于,
在所述接近过程中,气体供给机构向所述工件与所述片状粘合材料之间供给气体,防止所述工件和所述片状粘合材料的接触。
8.一种片状粘合材料的粘贴装置,其是相对于工件粘贴预定形状的片状粘合材料的片状粘合材料的粘贴装置,
该片状粘合材料的粘贴装置的特征在于,具有:
粘合材料保持机构,其利用粘合材料保持构件保持所述片状粘合材料;
粘贴机构,其在利用粘合材料保持构件保持着所述片状粘合材料的状态下,将所述片状粘合材料粘贴于所述工件;以及
分离机构,其从粘贴于所述工件的所述片状粘合材料分离所述粘合材料保持构件。
9.根据权利要求8所述的片状粘合材料的粘贴装置,其特征在于,
所述粘合材料保持构件为长条状的粘合带,通过将所述粘合带粘贴于所述预定形状的片状粘合材料来保持所述预定形状的片状粘合材料。
10.根据权利要求9所述的片状粘合材料的粘贴装置,其特征在于,
所述粘合带的、至少与所述预定形状的片状粘合材料的端部相接触的部分由具有透光性的材料构成。
11.根据权利要求8所述的片状粘合材料的粘贴装置,其特征在于,
所述粘合材料保持构件为具有吸附孔的板状构件,所述板状构件通过吸附所述预定形状的片状粘合材料来保持所述预定形状的片状粘合材料。
12.根据权利要求11所述的片状粘合材料的粘贴装置,其特征在于,
所述板状构件的、至少与所述预定形状的片状粘合材料的端部相接触的部分由具有透光性的材料构成。
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