[发明专利]电源供应装置、半导体工艺系统与电源管理方法

说明书

提供一种电源供应装置，包括电源单元、电源感测器以及控制单元。电源单元包括并联配置的第一电源供应器以及第二电源供应器，两者分别提供第一输出电源以及第二输出电源至半导体工艺设备。电源感测器感测第一输出电源以及第二输出电源的一输出参数是否小于预设值。当第一输出电源及第二输出电源的该输出参数中的一者小于预设值时，电源供应装置进入一紧急备援模式。控制单元使得第一电源供应器及第二电源供应器的另外一者提供一备用电源至半导体工艺设备。备用电源的该输出参数大于第一输出电源以及第二输出电源的该输出参数。

技术领域

本发明实施例涉及一种电源供应装置、半导体工艺系统(制程系统)与电源管理方法。更详细地说，本发明实施例为一种用于半导体工艺设备与机台的电源供应装置、半导体工艺系统与电源管理方法。

背景技术

对于半导体工艺设备而言，稳定的电源供应至关重要。如果发生电源供应器失效的情况，无法进行侦错及晶圆救援功能，只能被动的由机台发报的错误信息或依经验推断是哪颗电源供应器失效，而错失宝贵的晶圆救援时间，造成产品报废及大量金钱损失。此外，要等到电源供应器恢复供电后，半导体工艺设备才能继续正常运作，造成产能损失。因此，在目前高度自动化、人力精简的趋势下，需要一种用于半导体工艺设备的、全自动化的电源供应装置与半导体工艺系统。

发明内容

本发明实施例提供一种电源供应装置，包括电源单元、电源感测器以及控制单元。电源单元包括并联配置的第一电源供应器以及第二电源供应器，两者分别提供第一输出电源以及第二输出电源至半导体工艺设备。电源感测器感测第一输出电源以及第二输出电源的一输出参数是否小于预设值。控制单元依据电源感测器的电源感测结果，判断电源单元是否正常供电给半导体工艺设备。当第一输出电源或第二输出电源的该输出参数中的一者小于预设值时，电源供应装置进入一紧急备援模式。控制单元使得第一及第二电源供应器的另外一者提供一备用电源至半导体工艺设备。备用电源的该输出参数大于第一输出电源以及第二输出电源的该输出参数。

本发明实施例提供一种半导体工艺系统，包括一半导体工艺设备以及上述的电源供应装置。第一电源供应器所输出的第一输出电源及/或第二电源供应器所输出的第二输出电源用以对半导体工艺设备的一镀件进行偏压，以执行一化学电镀沉积工艺(制程)。

本发明实施例提供一种半导体工艺系统，包括一半导体工艺设备以及上述的电源供应装置。在该半导体工艺系统中，第一电源供应器或第二电源供应器所输出的第一输出电源以及第二输出电源用以激发该半导体工艺设备的一电磁辐射，使得电磁辐射穿越一掩模(光罩)以执行一曝光工艺。

本发明实施例提供一种电源管理方法，应用于一半导体工艺系统的一电源供应装置。上述电源管理方法包括：并联配置电源供应装置的一第一电源供应器以及一第二电源供应器，两者分别提供一第一输出电源以及一第二输出电源至半导体工艺系统的一半导体工艺设备；感测第一输出电源以及第二输出电源的一输出参数是否大于或等于一预设值；当电源感测器感测到第一输出电源以及第二输出电源的该输出参数均大于或等于该预设值时，则电源供应装置进入一正常操作模式；以及当电源感测器感测到第一输出电源或第二输出电源的该输出参数小于该预设值时，则电源供应装置进入一紧急备援模式，并且对第一输出电源或第二输出电源的该输出参数大于或等于该预设值所对应的第一电源供应器或第二电源供应器进行调整，使第一电源供应器或第二电源供应器提供一备用电源至半导体工艺设备。备用电源的该输出参数大于第一输出电源以及第二输出电源的该输出参数。

附图说明

根据以下的详细说明并配合附图做完整披露。应注意的是，根据本产业的一般作业方式，附图未必为按照比例绘制。事实上，可能任意的放大或缩小元件的尺寸，以做清楚的说明。

图1A为根据本发明一实施例所述的电源供应装置以及半导体工艺设备的示意图；

图1B为根据本发明一实施例所述的电源供应器的示意图；

图2为根据本发明一实施例所述的半导体工艺系统的示意图；