[发明专利]一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法

说明书

本发明提供一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法，机械手上安装有至少三个晶圆限位器，每一晶圆限位器上均设置有能够对晶圆边缘进行限位的限位面，所述装置包括：支架和定位模块，支架位置可调的安装在机械手上，支架上设置有至少三个圆弧面，至少三个圆弧面同轴设置且分别与所述至少三个晶圆限位器的限位面相对应，圆弧面的半径小于晶圆半径；定位模块安装在支架上并可绕至少三个圆弧面的轴线转动，定位模块的径向末端设置有能与限位面相匹配重合的定位面。使用本发明装置和更换方法，更换后晶圆限位器所限定晶圆位置与更换前的同轴一致性能得到有效保证，不仅能够快速准确的更换晶圆限位器，而且不需要做机台位置的调整。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法。

背景技术

目前，在半导体领域的很多工艺之间都通过机械手臂来回传送晶圆，现有机械手臂包括臂体和可拆卸安装在臂体上对晶圆进行圆周限位的至少三个晶圆限位器，至少三个晶圆限位器上设置有限位面，晶圆边缘抵靠在限位面上来实现圆周方向的限位。因机械传动过程中晶圆会与限位面有微小的相对运动，长时间的使用后，限位面上对应晶圆安装位置的厚度范围内会因晶圆磨损而产生凹陷，从而造成晶圆圆周限位不准，甚至具有掉片和破片的风险。因此，在设定的使用寿命周期后，我们需要对晶圆限位器进行更换。

然而，目前的更换的方式是直接更换，这种更换方法需要重新调整机台位置，作业周期十分冗长，不仅加重了工作人员的劳动负荷，而且也浪费机台的产能。因此需要设计一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法，能够快速准确的更换晶圆限位器，而且不需要重新做机台位置的调整。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法，用于解决现有技术中监测数据存在延迟且检测精度低等的问题。

为实现上述目的及其它相关目的，本发明提供了一种机械手晶圆限位器更换装置，所述机械手上安装有至少三个晶圆限位器，每一所述晶圆限位器上均设置有能够对晶圆边缘进行限位的限位面，所述装置包括：

支架，所述支架位置可调的安装在所述机械手上，所述支架上设置有至少三个圆弧面，所述至少三个圆弧面同轴设置且分别与所述至少三个晶圆限位器的限位面相对应，所述圆弧面的半径或等于所述至少三个晶圆限位器所限定的晶圆半径；

定位模块，所述定位模块安装在所述支架上并可绕所述至少三个圆弧面的轴线转动，所述定位模块的径向末端设置有能与所述限位面相匹配重合的定位面。

作为本发明的一种可选方案，所述支架为圆盘形，所述至少三个圆弧面位于所述支架的边缘圆柱面上。

作为本发明的一种可选方案，所述晶圆限位器上还设置有伸出至所述限位面内侧的晶圆托块，所述圆弧面与所述限位面之间设置有允许所述晶圆托块通过的避让间隙，所述定位模块上设置有上下贯通且能够允许所述晶圆托块通过的避让缺口。

作为本发明的一种可选方案，所述支架通过可调节安装结构安装在所述机械手上；所述可调节安装结构包括至少两个夹持部；所述夹持部包括：第一夹持体、第二夹持体和至少两个连接螺栓；所述第一夹持体、所述第二夹持体、所述支架均设置有相对应的连接孔，所述支架的厚度小于所述机械手的厚度，所述支架夹设在所述第一夹持体和所述第二夹持体之间并通过所述至少两个连接螺栓相连接。

作为本发明的一种可选方案，所述机械手的两侧设置有凹槽，所述支架上对应两侧凹槽的位置设置有向外延伸的支脚，所述夹持部的一侧与所述支脚通过所述连接螺栓相连接，另一侧在所述连接螺栓拉力的作用下夹持在所述凹槽处的所述机械手上。

作为本发明的一种可选方案，所述夹持部设置在所述定位模块的旋转半径以外。

作为本发明的一种可选方案，所述支架上设置有向上延伸的销轴，所述销轴与所述至少三个圆弧面的轴线同轴，所述定位模块上设置有与所述销轴相配的通孔，所述通孔套装在所述销轴上。