[发明专利]一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法

权利要求书

1.一种机械手晶圆限位器更换装置，所述机械手上安装有至少三个晶圆限位器，每一所述晶圆限位器上均设置有能够对晶圆边缘进行限位的限位面，其特征在于，所述装置包括：

支架，所述支架位置可调的安装在所述机械手上，所述支架上设置有至少三个圆弧面，所述至少三个圆弧面同轴设置且分别与所述至少三个晶圆限位器的限位面相对应，所述圆弧面的半径小于或等于所述至少三个晶圆限位器所限定的晶圆半径；

定位模块，所述定位模块安装在所述支架上并可绕所述至少三个圆弧面的轴线转动，所述定位模块的径向末端设置有能与所述限位面相匹配重合的定位面。

2.根据权利要求1所述的机械手晶圆限位器更换装置，其特征在于：所述支架为圆盘形，所述至少三个圆弧面位于所述支架的边缘圆柱面上。

3.根据权利要求1所述的机械手晶圆限位器更换装置，其特征在于，所述晶圆限位器上还设置有伸出至所述限位面内侧的晶圆托块，所述圆弧面与所述限位面之间设置有允许所述晶圆托块通过的避让间隙，所述定位模块上设置有上下贯通且能够允许所述晶圆托块通过的避让缺口。

4.根据权利要求1所述的机械手晶圆限位器更换装置，其特征在于：所述支架通过可调节安装结构安装在所述机械手上；

所述可调节安装结构包括至少两个夹持部；

所述夹持部包括：第一夹持体、第二夹持体和至少两个连接螺栓；所述第一夹持体、所述第二夹持体、所述支架均设置有相对应的连接孔，所述支架的厚度小于所述机械手的厚度，所述支架夹设在所述第一夹持体和所述第二夹持体之间并通过所述至少两个连接螺栓相连接。

5.根据权利要求4所述的机械手晶圆限位器更换装置，其特征在于，所述机械手的两侧设置有凹槽，所述支架上对应两侧凹槽的位置设置有向外延伸的支脚，所述夹持部的一侧与所述支脚通过所述连接螺栓相连接，另一侧在所述连接螺栓拉力的作用下夹持在所述凹槽处的所述机械手上。

6.根据权利要求5所述的机械手晶圆限位器更换装置，其特征在于，所述夹持部设置在所述定位模块的旋转半径以外。

7.根据权利要求1所述的机械手晶圆限位器更换装置，其特征在于，所述支架上设置有向上延伸的销轴，所述销轴与所述至少三个圆弧面的轴线同轴，所述定位模块上设置有与所述销轴相配的通孔，所述通孔套装在所述销轴上。

8.根据权利要求7所述的机械手晶圆限位器更换装置，其特征在于，所述通孔为腰孔，所述腰孔宽度与所述销轴相匹配，所述腰孔的长度沿径向延伸，所述腰孔的长度调节距离小于或等于所允许的晶圆限位器不同心度。

9.根据权利要求7所述的机械手晶圆限位器更换装置，其特征在于，所述销轴上还安装有能将所述定位模块压紧锁定在所述支架上的锁定体。

10.一种机械手晶圆限位器的更换方法，所述机械手上安装有至少三个晶圆限位器，每一所述晶圆限位器上均设置有能够对晶圆边缘进行限位的限位面，其特征在于，所述更换方法包括如下步骤：

提供一支架，在所述支架上设置至少三个圆弧面，使所述至少三个圆弧面同轴设置且分别与所述至少三个晶圆限位器的限位面相对应，所述圆弧面的半径小于或等于所述至少三个晶圆限位器所限定的晶圆半径；

使所述支架位置可调的安装在机械手上，并将所述至少三个圆弧面与各个所述晶圆限位器的限位面相对应；

提供一定位模块，使所述定位模块安装在所述支架上并可绕所述至少三个圆弧面的轴线转动，在所述定位模块的径向末端设置能与所述限位面相匹配重合的定位面；

调整所述支架的位置使所述圆弧面与所述至少三个晶圆限位器所限定的晶圆同心；

转动所述定位模块使所述定位面与待更换晶圆限位器的限位面重合后拆除该晶圆限位器；

将新更换晶圆限位器的限位面重合抵靠在所述定位面上进行定位安装，即完成该晶圆限位块的更换；

调整所述定位模块的位置，以所述定位模块的定位面为重合基准逐个完成其余晶圆限位器的更换。