[发明专利]一种电子碳化硅芯片的生产设备及其方法

权利要求书

1.一种电子碳化硅芯片的生产设备，包括底板，其特征在于，底板的顶部固定安装有外延炉，所述外延炉的两侧均连通有进气装置，所述外延炉的底部内壁上滑动安装有对称设置的两个放置台，两个放置台的顶部均放置有碳化硅板，两个放置台的底部设置有同一个驱动机构，所述外延炉的一侧内壁上设置有辊压机构，且辊压机构和两个碳化硅板的顶部紧密贴合；

所述辊压机构包括固定安装在外延炉一侧内壁上的安装板，安装板的底部转动安装有对称设置的两个安装轴，安装板的底部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上传动连接有横轴，所述横轴的两端均固定套设有第一伞齿轮，两个安装轴的外侧均固定套设有第二伞齿轮，两个第一伞齿轮分别和两个第二伞齿轮相啮合，两个安装轴的外侧均固定安装有压辊，两个压辊的底部分别和两个碳化硅板的顶部紧密贴合；

所述驱动机构包括固定安装在外延炉底部内壁上的电动推杆，所述电动推杆输出轴的一端固定安装有齿条，所述外延炉的底部内壁上转动安装有竖轴，且竖轴的外侧固定套设有齿轮，所述齿轮和齿条相啮合，所述竖轴的顶部固定安装有转盘，所述转盘的顶部转动安装有呈中心点对称设置的两个连杆，两个连杆相互远离的一侧分别和两个放置台转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种电子碳化硅芯片的生产设备，其特征在于，所述进气装置包括固定安装在底板顶部的两个竖板，两个竖板相互靠近的一侧均固定安装有横板，两个横板的底部均固定安装有抽气泵，所述底板的顶部固定安装有丙烷罐和硅烷罐，两个抽气泵的进气口处均密封炉温螺纹连接有进气管道，两个进气管道的底部分别和丙烷罐和硅烷罐密封螺纹连接，两个抽气泵的出气口处均密封螺纹连接有进气 管，两个进气管上均设置有电磁阀，两个进气管相互靠近的一端分别贯穿外延炉的两侧并均延伸至外延炉的内部，且两个进气管分别和外延炉的两侧密封螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种电子碳化硅芯片的生产设备，其特征在于，所述驱动电机输出轴的外侧固定套设有第一齿轮，横轴的外侧固定套设有第二齿轮，所述第一齿轮和第二齿轮相啮合。

4.根据权利要求1所述的一种电子碳化硅芯片的生产设备，其特征在于，所述外延炉的底部内壁上固定安装有工形支柱，所述工形支柱的顶部和电动推杆的底部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种电子碳化硅芯片的生产设备，其特征在于，所述外延炉的两侧内壁上均开设有拿出孔，两个拿出孔上均密封螺纹连接有堵塞，两个堵塞相互远离的一侧分别延伸至外延炉的两侧。

6.根据权利要求1所述的一种电子碳化硅芯片的生产设备，其特征在于，所述外延炉的一侧内壁上固定安装有温度传感器和湿度传感器，所述外延炉的一侧固定安装有控制器，所述控制器与湿度传感器、温度传感器、电动推杆和驱动电机均电性连接。

7.根据权利要求1所述的一种电子碳化硅芯片的生产设备，其特征在于，两个安装轴的顶部均转动安装有安装杆，两个安装杆的顶部均和安装板的底部固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种电子碳化硅芯片的生产设备的生产方法，包括以下步骤：

S1：将两个堵塞移动至拿出孔的一侧；

S2：将碳化硅板经由拿出孔放置在放置台上；

S3：按下两个抽气泵的开关，分别将丙烷和硅烷抽入至外延炉内；

S4：通过控制器启动湿度传感器和温度传感器，在碳化硅板的外表面形成外延层膜；

S5：通过控制器启动电动推杆和驱动电机，当电动推杆启动时，齿条会进行横向移动，通过设置的齿条和齿轮的啮合关系，实现竖轴和转盘进行转动的目的，当转盘进行转动时，通过设置的两个连杆为两个放置台提供横向的作用力，两个放置台会向相互远离的一侧进行横向移动，与此同时，当驱动电机进行转动时，通过设置的第一齿轮和第二齿轮的啮合关系，实现横轴转动的目的，当横轴转动时，通过设置的第一伞齿轮和第二伞齿轮的啮合关系，实现两个安装轴转动的目的，利用两个安装轴上压辊对碳化硅板上的外延层膜进行辊压；

S6：移动两个堵塞远离两个拿出孔，将碳化硅板取出；

S7：将电子碳化硅元件安装在碳化硅板的外延层膜上。