[发明专利]掩模板及其制作方法、以及采用掩模板进行图案化的方法

说明书

一种掩模板及其制作方法和采用掩模板进行图案化的方法。该掩模板包括第一开口，被配置为图案化功能基板的光学胶层以形成第一保护层，功能基板还包括衬底基板和多条导线，多条导线在衬底基板上的正投影落入第一保护层在衬底基板上的正投影，N种功能基板中的每一种的第一保护层在第一方向上的尺寸为L_i，N种功能基板中的每一种的导线的宽度W_i；第一开口在第一方向上的尺寸X大于N种功能基板中的W_i中数值最小的功能基板的第一保护层在第一方向上的尺寸L_min1，功能基板还包括绑定区域，第一方向垂直于从功能区域到绑定区域的方向。由此，该掩模板的制作方法制作的掩模板可共用于不同款式的产品，从而降低开案成本。

技术领域

本公开的实施例涉及一种掩模板、掩模板的制作方法以及采用掩模板进行图案化的方法。

背景技术

随着显示技术的不断发展，触控技术已经逐渐成熟，触控技术的制作工艺也趋于稳定，因此触控技术被广泛地应用于各种电子产品中，例如笔记本电脑产品。

OGM(One Glass Metal Mesh)触控技术是将金属网格状的触控基板集成在保护玻璃上，从而使得一块保护玻璃既起到保护的作用，又起到触控的作用。因此，OGM触控技术具有重量轻、透光率高、成本低等优点。

发明内容

本公开实施例提供一种掩模板的制作方法、掩模板和采用掩模板进行图案化的方法。该掩模板包括：第一开口，所述第一开口被配置为图案化功能基板的光学胶层以形成第一保护层，所述第一保护层覆盖所述功能基板的功能区域；所述功能基板还包括衬底基板和多条导线，所述多条导线在所述衬底基板上的正投影落入所述第一保护层在所述衬底基板上的正投影，N种所述功能基板中的每一种的所述第一保护层在第一方向上的尺寸为L_i，所述N种功能基板中的每一种的所述导线的宽度W_i；所述第一开口在所述第一方向上的尺寸X大于所述N种功能基板中的所述W_i中数值最小的所述功能基板的所述第一保护层在所述第一方向上的尺寸L_min1，所述功能基板还包括绑定区域，所述第一方向垂直于从所述功能区域到所述绑定区域的方向，N为大于等于3的正整数，i为大于等于1且小于等于N的正整数。

例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，相邻两个所述导线之间的间隔宽度为S_i，所述第一开口在所述第一方向上的尺寸X大于所述N种功能基板中的所述S_i中数值最小的所述功能基板的所述第一保护层在所述第一方向上的尺寸L_min2。

例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，所述第一开口在所述第一方向上的尺寸X大于所述N种功能基板中的所述L_i的中位数L_m。

例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，所述N种功能基板中的每一种的所述第一保护层在所述第二方向上的尺寸D_i，所述第一开口在所述第二方向上的尺寸Y大于所述N种功能基板中的W_i中数值最小的所述功能基板的所述第一保护层在所述第二方向上的尺寸D_min1，所述第二方向与所述第一方向垂直。

例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，相邻两个所述导线之间的间隔宽度为S_i，所述第一开口在所述第二方向上的尺寸Y大于所述N种功能基板中的S_i中数值最小的所述功能基板的所述第一保护层在所述第二方向上的尺寸D_min2。

例如，在本公开一实施例提供的掩模板中，所述第一开口在所述第二方向上的尺寸Y大于所述N种功能基板中的所述D_i的中位数D_m。

例如，本公开一实施例提供的掩模板还包括：第二开口，被配置为图案化所述功能基板的所述光学胶层以形成位于所述功能基板的角落的块状图形，所述块状图形覆盖所述功能基板的对位标记。