[发明专利]化学液体供应装置和具有其的半导体处理装置

权利要求书

1.一种化学液体供应装置，向其中进行半导体制造工艺的处理室供应化学液体，所述化学液体供应装置包括：

化学液体供应管，所述化学液体在其中流动，所述化学液体供应管包括所述化学液体通过其喷射的喷射端，所述喷射端被配置为延伸到所述处理室中；

外部电极，邻近所述化学液体供应管的外周表面设置；以及

供电模块，配置为向所述外部电极施加电力。

2.如权利要求1所述的化学液体供应装置，还包括：

化学液体储存罐，配置为储存所述化学液体；以及

化学液体供应泵，设置在所述化学液体储存罐与所述化学液体供应管之间。

3.如权利要求1所述的化学液体供应装置，其中所述化学液体供应管由电绝缘材料制成。

4.如权利要求1所述的化学液体供应装置，其中所述外部电极与所述化学液体供应管的所述外周表面接触或间隔开。

5.如权利要求1所述的化学液体供应装置，其中所述外部电极包括至少两个外部电极，所述至少两个外部电极中的每个具有比所述化学液体供应管的周界长度的一半小的宽度并且在所述化学液体供应管的所述外周表面上沿圆周方向彼此间隔开。

6.如权利要求5所述的化学液体供应装置，其中所述至少两个外部电极中的每个形成为使得其长度小于或等于其宽度。

7.如权利要求5所述的化学液体供应装置，其中所述至少两个外部电极中的每个形成为使得其长度大于其宽度，并且所述至少两个外部电极在所述化学液体供应管的轴向方向上彼此间隔开。

8.如权利要求5所述的化学液体供应装置，其中所述至少两个外部电极中的每个形成为使得其长度大于其宽度。

9.如权利要求5所述的化学液体供应装置，其中所述至少两个外部电极相对于所述化学液体供应管的中心轴线对称地设置。

10.如权利要求1所述的化学液体供应装置，其中所述外部电极形成为环形，该环形具有大于或等于所述化学液体供应管的外径的内径。

11.如权利要求1所述的化学液体供应装置，其中所述外部电极形成为带形或条形，并且沿所述化学液体供应管的所述外周表面螺旋地设置。

12.如权利要求1所述的化学液体供应装置，其中所述外部电极设置为使得其下端与所述化学液体供应管的所述喷射端对齐。

13.如权利要求1所述的化学液体供应装置，还包括由电绝缘树脂材料制成的保护层，所述保护层施加在所述化学液体供应管的所述外周表面上以具有一定厚度从而围绕所述外部电极的暴露表面。

14.如权利要求1所述的化学液体供应装置，

其中所述外部电极包括在所述化学液体供应管的所述外周表面上彼此间隔开的第一外部电极和第二外部电极，

其中所述供电模块包括配置为向所述第一外部电极供应电力的第一供电模块以及配置为向所述第二外部电极供应电力的第二供电模块，并且

其中所述第一供电模块施加具有与所述第二供电模块的极性相反的极性的电力。

15.如权利要求1所述的化学液体供应装置，还包括电荷测量模块，所述电荷测量模块配置为测量从所述化学液体供应管喷射的化学液体的电荷量。

16.一种化学液体供应装置，包括：

化学液体供应管，由电绝缘材料构成并配置为允许化学液体流动；以及

外部电极，配置为在所述化学液体供应管外部产生电场，

其中由所述外部电极产生的电场施加到所述化学液体，以减少由所述化学液体与所述化学液体供应管的内周表面之间的摩擦引起的静电。