[发明专利]处理装置

权利要求书

1.一种处理装置，其特征在于，

该处理装置具有：

卡盘工作台，其具有载置被处理物的保持面，对该被处理物进行保持；

工作台基台，其供该卡盘工作台装卸自如地固定；

伺服电动机，其使该工作台基台绕旋转轴旋转，该旋转轴沿着与安装在该工作台基台上的该卡盘工作台的该保持面垂直的方向；

处理单元，其对该卡盘工作台所保持的该被处理物进行处理；以及

判定单元，其对安装在该工作台基台上的该卡盘工作台的种类进行判定，

该判定单元具有：

转矩记录部，其将当使该工作台基台旋转时该伺服电动机所输出的转矩按照安装在该工作台基台上的卡盘工作台的每个种类进行记录；

判定部，其对使安装有该卡盘工作台的该工作台基台旋转时的该伺服电动机所输出的转矩进行测量，将测量到的该转矩与记录在该转矩记录部中的各转矩进行比照，判定该卡盘工作台的种类；以及

通知部，其通知该判定部所实施的判定的结果。

2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，

该判定部所测量的该转矩是该工作台基台达到规定的转速为止的加速时的转矩和从规定的转速到停止为止的减速时的转矩中的一方或双方。

3.根据权利要求1或2所述的处理装置，其特征在于，

该处理单元是对该被处理物进行清洗的清洗单元。