[发明专利]检查方法、检查装置以及具备该检查装置的电镀装置

权利要求书

1.一种检查方法，是基板支架的检查方法，

上述基板支架具有：第一部件和第二部件，夹住基板对其进行保持；电接点，构成为与上述基板的被处理面接触；以及密封部件，以使液体不与上述电接点接触的方式与上述基板的上述被处理面接触，上述第一部件具有通过上述密封部件防止上述液体的浸入的表面区域，上述第二部件具有上述密封部件，

上述检查方法具有：

通过基板支架开闭装置的保持部保持上述第二部件，来使上述第一部件与上述第二部件相互分离的工序；以及

通过位于上述第一部件的上方的检测装置，在上述第一部件与上述第二部件相互分离时检测在上述第一部件的上述表面区域附着有液体这一情况的检测工序，

上述基板支架以朝向铅垂方向的状态被搬运至上述基板支架开闭装置，

上述表面区域沿着被保持于上述基板支架的上述基板的周围而配置，

上述检测工序获取上述第一部件的上述表面区域中的在上述基板支架朝向铅垂方向的状态下包含铅垂方向最下部的区域的图像数据，并基于该图像数据检测上述表面区域是否附着有液体。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

上述检测工序包含：

对未附着有液体时的上述区域和上述图像数据进行比较的比较工序。

3.根据权利要求2所述的检查方法，其中，

上述比较工序包含对未附着有液体时的上述区域的颜色与上述区域的上述图像数据的颜色进行比较的工序。

4.根据权利要求3所述的检查方法，其中，

上述比较工序具有：

计算上述区域的上述图像数据的与未附着有液体时的上述区域的颜色不同颜色的面积或者计算上述区域的上述图像数据的与未附着有液体时的上述区域的颜色相同的颜色的面积的工序；以及

判定上述不同颜色的面积是否为规定值以上或者判定上述相同颜色的面积是否为规定值以下的工序。

5.根据权利要求2所述的检查方法，其中，

上述检测工序包含多次获取上述区域的上述图像数据的工序，

上述检查方法还具有在多个上述图像数据的至少一个中检测出在上述区域附着有液体这一情况时，以发出警报或者停止电镀装置或者停止上述基板支架的使用的方式控制电镀装置的工序。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的检查方法，其中，

将上述第二部件从上述第一部件取下的工序包含在上述基板支架朝向水平方向的状态下将上述第二部件从上述第一部件取下的工序。

7.一种检查装置，是基板支架的检查装置，

上述基板支架具有：第一部件和第二部件，夹住基板对其进行保持；电接点，构成为与上述基板的被处理面接触；密封部件，以使液体不与上述电接点接触的方式与上述基板的上述被处理面接触；以及表面区域，通过上述密封部件防止了上述液体的浸入，上述第二部件具有上述密封部件，

上述检查装置具有：

基板支架开闭装置，具备保持上述第二部件的保持部，且构成为使上述第一部件和上述第二部件相互接触或者分离；以及

检测装置，位于上述第一部件的上方，在上述第一部件与上述第二部件相互分离时检测在上述表面区域附着有液体这一情况，

上述检测装置包含图像传感器和控制装置，

上述基板支架以朝向铅垂方向的状态被搬运至上述基板支架开闭装置，

上述表面区域沿着被保持于上述基板支架的上述基板的周围而配置，

上述图像传感器获取上述第一部件的上述表面区域中的在上述基板支架朝向铅垂方向的状态下包含铅垂方向最下部的区域的图像数据，

上述控制装置构成为基于该图像数据来检测上述表面区域附着有液体这一情况。

8.根据权利要求7所述的检查装置，其中，

上述控制装置构成为对未附着有液体时的上述区域与上述图像数据进行比较。

9.根据权利要求8所述的检查装置，其中，

上述控制装置构成为对未附着有液体时的上述区域的颜色与上述区域的上述图像数据的颜色进行比较。