[发明专利]具有离线真空度保持功能的载板在审
申请号: | 201910266021.0 | 申请日: | 2019-04-03 |
公开(公告)号: | CN109994396A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 叶欣;汪辉;高振波;洪昀;金光前;张鑫;陈雷雷;何守龙 | 申请(专利权)人: | 杭州中为光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683 |
代理公司: | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人: | 陈小良 |
地址: | 310030 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 载板本体 离线 太阳能电池板 真空发生装置 流转 真空腔 载板 组装 工业自动化领域 真空吸附功能 生产辅助 吸附能力 真空保持 吸附孔 有效地 吸附 体内 保证 维护 | ||
本发明涉及太阳能电池板生产辅助工具,尤其涉及具有离线真空度保持功能的载板,属于工业自动化领域。本发明所述的具有离线真空度保持功能的载板,包括载板本体,在载板本体内设置有真空腔,在载板本体上设置有真空发生装置,该真空发生装置用于使真空腔形成真空,从而通过吸附孔吸附载板本体上的物料。该方案中真空发生装置设置于载板本体上,使得载板本体具有离线真空保持的功能,即,载板本体可以在各工序之间流转,并且,在各工序之间流转时仍可以保持真空吸附功能,相对于现有技术,该方案可以有效地保证载板本体在各工序流转时的吸附能力,从而提高了太阳能电池板的组装精度,并且,组装太阳能电池板的设备易于维护。
技术领域
本发明涉及太阳能电池板生产辅助工具,尤其涉及具有离线真空度保持功能的载板,属于工业自动化领域。
背景技术
太阳能光伏行业经过了几十年的不断发展,传统的串焊式组件的发电效率基本上已经达到了极限,如何进一步的提升光伏组件的发电效率是行业发展的基本方向。目前市场上改善组件发电效率的研究方向主要包括提升太阳能电池本身转化效率和优化组件封装形式两个方向,背接触电池本身的高效率和其无主栅,无焊带结构的组件封装形式使得背接触电池组件相较于传统组件在发现效率上有相当的优势,因此在未来光伏发展中,背接触电池一定会占据一定的地位。
背接触电池的制备过程中需要使用载板作为承载物在设备各个模块间流转,载板在各个模块中停留,各个模块完成相应的工艺步骤后最终制作完成一块组件。背接触电池的特性要求载板对组件在载板上的位置进行固定,因此需要用到真空吸附,但是由于载板是在各个模块之间流转,现有技术中的真空吸附装置结构复杂且无法产生离线真空吸附,造成组装太阳电池板的生产设备结构复杂、维护困难。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供具有离线真空度保持功能的载板,以解决现有技术中承载太阳能电池板的载板无法实现离线真空吸附功能的技术问题。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是:
本发明所述的具有离线真空度保持功能的载板,具有离线真空度保持功能的载板,包括载板本体,在所述载板本体内设置有真空腔,在所述载板本体的一个侧面上设置有吸附孔,所述吸附孔与所述真空腔相通,在所述载板本体上设置有使真空腔产生真空的真空发生装置,所述真空发生装置包括储气罐、真空发生器、气嘴、破真空阀、检测真空腔内真空度的真空度检测器、进气阀和控制器,所述气嘴通过进气阀与所述储气罐相通,所述储气罐通过真空发生器与真空腔相通,所述储气罐通过破真空阀与外界相通,所述真空度检测器与所述控制器通讯,所述破真空阀、进气阀和真空发生器均由所述控制器控制工作。
本发明所述的具有离线真空度保持功能的载板,包括载板本体,在载板本体内设置有真空腔,在载板本体上设置有真空发生装置,该真空发生装置用于使真空腔形成真空,从而通过吸附孔吸附载板本体上的物料。该方案中真空发生装置设置于载板本体上,使得载板本体具有离线真空保持的功能,即,载板本体可以在各工序之间流转,并且,在各工序之间流转时仍可以保持真空吸附功能,相对于现有技术,该方案可以有效地保证载板本体在各工序流转时的吸附能力,从而提高了太阳能电池板的组装精度,并且,组装太阳能电池板的设备结构简单、易于维护。
优选的,所述载板本体包括具有槽体的第一部分和盖合所述槽体形成真空腔的第二部分,所述吸附孔均布于所述第二部分上。
载板本体由两部分组成,该方案使得载板本体易于加工,降低了载板本体的制造成本。
优选的,该载板还包括气源和气源开闭阀,所述气源通过气源开闭阀与所述气嘴相通,所述气源和所述气源开闭阀均由所述控制器控制工作。
气源控制方便,提高了载板工作过程中的稳定性能。
优选的,所述气源开关阀固定于与载板配合的机架上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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