[发明专利]具有离线真空度保持功能的载板

权利要求书

1.具有离线真空度保持功能的载板，包括载板本体(1)，其特征是：在所述载板本体(1)内设置有真空腔(2)，在所述载板本体(1)的一个侧面上设置有吸附孔(3)，所述吸附孔(3)与所述真空腔(2)相通，在所述载板本体(1)上设置有使真空腔(2)产生真空的真空发生装置，所述真空发生装置包括储气罐(4)、真空发生器(5)、气嘴(6)、破真空阀(7)、检测真空腔(2)内真空度的真空度检测器(8)、进气阀(9)和控制器，所述气嘴(6)通过进气阀(9)与所述储气罐(4)相通，所述储气罐(4)通过真空发生器(5)与真空腔(2)相通，所述储气罐(4)通过破真空阀(7)与外界相通，所述真空度检测器(8)与所述控制器通讯，所述破真空阀(7)、进气阀(9)和真空发生器(5)均由所述控制器控制工作。

2.根据权利要求1所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：所述载板本体(1)包括具有槽体的第一部分(10)和盖合所述槽体形成真空腔(2)的第二部分(11)，所述吸附孔(3)均布于所述第二部分(11)上。

3.根据权利要求1所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：该载板还包括气源和气源开闭阀(12)，所述气源通过气源开闭阀(12)与所述气嘴(6)相通，所述气源和所述气源开闭阀(12)均由所述控制器控制工作。

4.根据权利要求3所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：所述气源开关阀固定于与载板配合的机架上。

5.根据权利要求1所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：所述真空度传感器包括真空度检测阀(13)、光电传感器(14)、反射器(15)和驱动所述反射器(15)往复运动的驱动器(16)，所述光电传感器(14)与所述控制器通讯，所述驱动器(16)由所述真空度检测阀(13)控制工作，驱动器(16)根据真空度检测阀(13)的动作控制所述反射器(15)往复运动，所述光电传感器(14)检测所述反射器(15)反馈的信号，并将检测到的信号传送至控制器，所述光电传感器(14)固定于与载板配合的机架上。

6.根据权利要求4所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：所述驱动器(16)为驱动气缸，所述驱动气缸包括缸体(17)和活塞杆(18)，所述反射器(15)固定于所述活塞杆(18)上，所述驱动气缸还包括使所述活塞杆(18)复位的复位弹簧(19)。

7.根据权利要求6所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：所述复位弹簧(19)的一端与所述活塞杆(18)固定连接，所述复位弹簧(19)的另一端固定于所述载板本体(1)上，在所述载板本体(1)上固定有定位复位弹簧(19)的定位块(20)，所述复位弹簧(19)通过螺钉固定于所述定位块(20)上。

8.根据权利要求1所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：所述破真空阀(7)包括阀体和控制阀体工作的第一执行气缸，所述第一执行气缸由所述控制器控制工作，所述第一执行气缸固定于与载板配合的机架上。

9.根据权利要求1所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：所述进气阀(9)包括阀门组件和控制所述阀门组件工作的第二执行气缸，所述第二执行气缸由所述控制器控制工作，所述第二气缸固定于与载板配合的机架上。

10.根据权利要求1所述的具有离线真空度保持功能的载板，其特征是：所述进气阀(9)和所述破真空阀(7)的开闭状态相反，所述进气阀(9)和所述破真阀通过先导气路实现进气阀(9)和所述破真空阀(7)的开闭状态相反。