[发明专利]OLED显示屏及其制备方法在审
申请号: | 201910087672.3 | 申请日: | 2019-01-29 |
公开(公告)号: | CN109860250A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 叶剑 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 开孔区域 蒸镀 制备 阴极 智能移动设备 发光功能膜 封装可靠性 薄膜封装 发光膜层 摄像模组 圆形孔 变窄 膜层 刘海 | ||
1.一种OLED显示屏的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供一TFT阵列基板,所述TFT阵列基板上的显示区内具有待开孔区域;
通过采用两个半边开放掩膜板在所述待开孔区域进行拼接的方式,分别对所述TFT阵列基板进行蒸镀,以在所述待开孔区域之外的所述TFT阵列基板上形成有机发光器件的各膜层;
对所述TFT阵列基板进行薄膜封装;
对所述待开孔区域进行开孔。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述的通过采用两个半边开放掩膜板在所述待开孔区域进行拼接的方式,分别对所述TFT阵列基板进行蒸镀,以在所述待开孔区域之外的所述TFT阵列基板上形成有机发光器件的各膜层,进一步包括:
采用精细金属掩膜板蒸镀所述有机发光器件的发光材料,其中,所述精细金属掩膜板在对应所述待开孔区域不开孔。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述拼接的边界位于所述OLED显示屏的像素电路的间隙位置处。
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述拼接的方式包括:
采用横向两个半边开放掩膜板在所述待开孔区域进行横向对半拼接;或
采用纵向两个半边开放掩膜板在所述待开孔区域进行纵向拼接;或
采用在所述待开孔区域具有相同预设倾斜角度的两个半边开放掩膜板在所述待开孔区域进行斜向拼接;
其中,定义所述OLED显示屏的宽度方向为横向,定义所述OLED显示屏的长度方向为纵向。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述的对所述TFT阵列基板进行薄膜封装,包括:
采用化学气相沉积掩膜板在所述OLED显示屏的显示区整面开孔并沉积无机膜层,并采用干法刻蚀的方式将所述待开孔区域的所述无机膜层除去;或
采用两个半边化学气相沉积掩膜板在所述待开孔区域进行拼接的方式,分别对所述TFT阵列基板进行无机膜层沉积,以完成对所述TFT阵列基板的薄膜封装并在所述待开孔区域无所述无机膜层沉积。
6.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述拼接的边界位于所述OLED显示屏的像素电路的间隙位置处。
7.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述拼接的方式包括:
采用横向两个半边化学气相沉积掩膜板在所述待开孔区域进行横向对半拼接;或
采用纵向两个半边开放掩膜板在所述待开孔区域进行纵向拼接;或
采用在所述待开孔区域具有相同预设倾斜角度的两个半边开放掩膜板在所述待开孔区域进行斜向拼接;
其中,定义所述OLED显示屏的宽度方向为横向,定义所述OLED显示屏的长度方向为纵向。
8.一种OLED显示屏,其特征在于,所述OLED显示屏采用权利要求1-7中任一项所述的制备方法制成。
9.如权利要求8所述的OLED显示屏,其特征在于,所述开孔为圆形开孔。
10.如权利要求9所述的OLED显示屏,其特征在于,所述圆形开孔位置下方为摄像模组。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的