[发明专利]基板输送装置以及基板吸附装置

说明书

本申请提供一种基板输送装置以及基板吸附装置，能够不使基板产生褶皱而顺畅地输送基板。基板输送装置(1)吸附并输送基板，具备：吸附部(10)，能够在与基板(F)接近以及分离的方向上变形；以及驱动机构(20)，使吸附部(10)变形以使得吸附部(10)从中央部朝向两端部依次与基板(F)接近。另外，吸附部(10)在从中央部朝向两端部的方向上被划分为多个区域(10A～10I)，驱动机构(20)具有独立地驱动吸附部(10)的各区域的多个驱动部(200)。

技术领域

本发明涉及输送基板的基板输送装置以及吸附基板的基板吸附装置。

背景技术

作为输送脆性材料基板的装置，例如已知有专利文献1所述的基板输送装置。在该装置中，用于调节工作台表面与吸附部之间的距离的距离调节机构设于吸附部的多处位置。通过利用距离调节机构在吸附部的多处位置调节吸附部与工作台表面的距离，校正吸附部相对于工作台表面的倾斜。由此，能够利用吸附部在整面范围内吸附在工作台上载置的基板的表面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2003/049909号

发明内容

在专利文献1的结构中，在吸附部与基板的表面重叠时，空气有可能进入吸附部与基板之间而使基板产生褶皱。当产生这样的褶皱时，基板的品质降低。另外，当空气进入基板与吸附部之间时，存在吸附部无法均匀地吸附基板的表面而使基板的输送变得困难的情况。

鉴于所述课题，本发明的目的在于，提供能够不使基板产生褶皱而顺畅地输送基板的基板输送装置以及基板吸附装置。

本发明的第一方式涉及一种吸附并输送基板的基板输送装置。该方式所涉及的基板输送装置构成为具备：吸附部，能够在与基板接近以及分离的方向上变形；以及驱动机构，使所述吸附部变形以使得所述吸附部从中央部朝向两端部依次与所述基板接近。

根据该结构，由于吸附部从中央部朝向两端部依次接近基板，因此在吸附部与基板重叠时，夹在吸附部与基板之间的空气被从吸附部抵接的部分朝向基板的两端部赶出。因此，在基板与吸附部之间不产生空气存积。其结果是，能够在基板上不产生褶皱地以良好的状态顺畅地输送基板。

另外，当基板在输送目的地进行交接时，基板从中央部朝向两端部依次接近基板载置部，基板与基板载置部重叠。如上述那样，与吸附部和基板重叠时同样地，能够在基板与基板载置部之间不夹有空气而将基板载置于基板载置部。因此，在基板与基板载置部之间不产生空气存积。其结果是，能够在基板上不产生褶皱地将基板以良好状态载置于输送目的地的基板载置部，能够结束基板的输送。

在本方式所涉及的基板输送装置中构成为，所述吸附部在从所述中央部朝向所述两端部的方向上被划分为多个区域，所述驱动机构具有独立地驱动所述吸附部的各所述区域的多个驱动部。

根据该结构，通过利用各驱动部来驱动各区域，能够使吸附部在从中央部朝向两端部的方向上变形。因此，能够顺畅地进行使吸附部从基板的中央部朝向两端部依次接近的动作。

在该结构中，所述驱动部是气缸。

根据该结构，通过气缸的压力，能够将吸附部的各区域适当地按压于基板。

该情况下，所述驱动机构构成为，在每个所述区域中具备在与所述基板分离的方向上限制所述区域的移动的第一限位器，调整与各所述区域对应的所述第一限位器，以便在沿使所述区域与所述基板分离的方向上驱动所述气缸的情况下，所述区域与所述基板之间的距离从所述中央部朝向所述两端部增大。