[发明专利]基板输送装置以及基板吸附装置有效
| 申请号： | 201910043236.6 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN110092196B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 西尾仁孝;高松生芳;上野勉 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B65G49/06;B65G47/91;C03B33/03 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;李罡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 输送 装置 以及 吸附 | ||
1.一种基板输送装置，吸附并输送基板，其特征在于，
所述基板输送装置具备：
吸附部，能够在与所述基板接近以及分离的方向上变形；以及
驱动机构，使所述吸附部变形以使得所述吸附部从中央部朝向两端部依次与所述基板接近，
所述吸附部在从所述中央部朝向所述两端部的方向上被划分为多个区域，
所述驱动机构具有独立地驱动所述吸附部的各所述区域的多个驱动部。
2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，
所述驱动部是气缸。
3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，
所述驱动机构在每个所述区域中具备第一限位器，所述第一限位器在与所述基板分离的方向上限制所述区域的移动，
调整与各所述区域对应的所述第一限位器，以便在沿使所述区域与所述基板分离的方向上驱动所述气缸的情况下，所述区域与所述基板之间的距离从所述中央部朝向所述两端部增大。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板输送装置，其特征在于，
所述驱动机构通过支承轴将各所述驱动部支承为能够转动，所述支承轴与从所述中央部朝向所述两端部的方向垂直且相对于所述基板平行。
5.根据权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于，
所述驱动机构具备将所述驱动部的转动限制在规定范围的第二限位器。
6.一种基板吸附装置，吸附基板，其特征在于，
所述基板吸附装置具备：
吸附部，能够在与所述基板接近以及分离的方向上变形；以及
驱动机构，使所述吸附部变形以使得所述吸附部从中央部朝向两端部依次与所述基板接近，
所述吸附部在从所述中央部朝向所述两端部的方向上被划分为多个区域，
所述驱动机构具有独立地驱动所述吸附部的各所述区域的多个驱动部。
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