[发明专利]固化树脂用组合物、该组合物的固化物、该组合物和该固化物的制造方法、以及半导体装置有效

专利信息
申请号: 201880069471.4 申请日: 2018-10-26
公开(公告)号: CN111278884B 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 西谷佳典;南昌树;佐藤树生 申请(专利权)人: JXTG能源株式会社
主分类号: C08G59/40 分类号: C08G59/40;H01L23/29;H01L23/31
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 金世煜;李书慧
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 固化 树脂 组合 制造 方法 以及 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种固化树脂用组合物,含有:

(A)具有至少两个苯并嗪环的多官能苯并嗪化合物、且为选自具有式(1)的结构单元的多官能苯并嗪化合物和由式(2)的结构表示的多官能苯并嗪化合物中的至少1种多官能苯并嗪化合物、

(B)具有至少一个降冰片烷结构和至少两个环氧基的环氧化合物,且其具有下述式(4)中示出的与5元环、6元环或降冰片烷环键合的环氧结构,

(C)亚萘基醚型环氧化合物、以及

(D)固化剂,

式(1)中,R表示碳原子数1~12的链状烷基、碳原子数3~8的环状烷基、或碳原子数6~14的芳基,该芳基可以具有卤素或碳原子数1~12的链状烷基作为取代基,Z表示氢、碳原子数1~8的烃基和/或连接基团,各自可以相同也可以不同,且至少一个为连接基团,苯并嗪环彼此通过该连接基团连接,

式(2)中,L为具有1~5个芳香环的2价有机基团或碳原子数2~10的亚烷基,该有机基团和亚烷基可以含有氧和/或硫,

2.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物,其中,所述(B)具有至少一个降冰片烷结构和至少两个环氧基的环氧化合物为下述式(5)表示的化合物中的至少一种,

3.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物,其中,所述(C)亚萘基醚型环氧化合物为由式(3)的结构表示的环氧化合物,

式(3)中,n为1~20的整数,l为0~2的整数,取代基R1各自独立地为苄基、烷基或下述通式(3a)表示的结构,R2各自独立地为氢原子或甲基,

式(3a)中,Ar各自独立地为亚苯基或亚萘基,R2各自独立地为氢原子或甲基,m为1或2的整数。

4.根据权利要求3所述的固化树脂用组合物,其中,式(3)表示的(C)亚萘基醚型环氧化合物由下述式(3-1)表示,

式(3-1)中,n为1~20的整数,R为取代基,各自独立地为苄基、烷基或下述通式(3a-1)表示的结构或者不存在,

所述通式(3a-1)式中,m为1或2的整数。

5.根据权利要求4所述的固化树脂用组合物,其中,式(3-1)中,n为1~8的整数,R为苄基、烷基或通式(3a-1)表示的结构或者不存在。

6.根据权利要求4或5所述的固化树脂用组合物,其中,式(3-1)中,R为通式(3a-1)表示的结构。

7.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物,其中,所述(C)亚萘基醚型环氧化合物为选自式(3-2)~(3-6)表示的化合物中的一种环氧化合物,

8.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物,其中,成分(B)环氧化合物与成分(C)亚萘基醚型环氧化合物的配合比即成分(B)环氧化合物:成分(C)亚萘基醚型环氧化合物以质量比计为90:10~10:90。

9.根据权利要求8所述的固化树脂用组合物,其中,成分(B)环氧化合物与成分(C)亚萘基醚型环氧化合物的配合比以质量比计为90:10~50:50。

10.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物,其中,固化树脂用组合物中的环氧当量比为0.5~1.5。

11.根据权利要求10所述的固化树脂用组合物,其中,固化树脂用组合物中的环氧当量比为0.7~1.2。

12.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物,其中,(D)固化剂为选自双(4-羟基苯基)硫醚、下述式(11-2)所示的双酚、2,7-二羟基萘和下述式(11-4)所示的邻苯三酚中的至少1种,

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