[发明专利]透明感光性树脂组合物、光刻间隔物、液晶显示装置、光刻间隔物的制造方法、液晶显示装置的制造方法及透明感光性树脂组合物在透镜扫描曝光中的应用

说明书

本发明的目的是提供可以形成抑制了光刻间隔物的高度偏差、兼有不易塑性变形即高弹性复原率的光刻间隔物的透明感光性树脂组合物、使用了该透明感光性树脂组合物的光刻间隔物、液晶显示装置、光刻间隔物的制造方法、液晶显示装置的制造方法以及透明感光性树脂组合物在透镜扫描曝光中的应用。本发明是一种透明感光性树脂组合物，其至少含有碱溶性树脂、光聚合引发剂和聚合性单体，上述碱溶性树脂具有：A)下述通式(1)所示的结构单元；B)下述通式(2)所示的结构单元；以及C)下述通式(3)所示的结构单元，上述碱溶性树脂的烯属不饱和基当量为400g/mol以下。(在下述通式(1)中，R¹表示氢原子或甲基。)(在下述通式(2)中，R²和R³各自独立地表示氢原子或甲基。X表示‑CH₂CH(OH)CH₂O(C＝O)‑、‑CH₂CH₂NH(C＝O)O(CH₂)_mO(C＝O)‑或‑(CH₂)_nO(C＝O)NHCH₂CH₂O(C＝O)‑。其中，m和n各自独立地表示整数1～4。)(在下述通式(3)中，Y表示可以具有取代基的碳原子数6～11的芳基、可以具有取代基的碳原子数7～10的芳烷基或可以具有取代基的碳原子数3～10的环烷基。)

技术领域

本发明涉及透明感光性树脂组合物、光刻间隔物、液晶显示装置、光刻间隔物的制造方法、液晶显示装置的制造方法以及透明感光性树脂组合物在透镜扫描曝光中的应用。

背景技术

液晶显示装置发挥轻量、薄型、低耗电等特性，而在笔记本个人电脑、便携信息终端、智能手机、数字照像机和桌面监视器等各种用途中被使用。

液晶显示装置在滤色器基板与TFT(Thin Film Transistor)基板之间具备能够通过规定取向而进行图像显示的液晶层，将这些基板的间隔(单元间隔)保持均匀是影响画质的重要要素之一。

以往，为了将单元间隔保持均匀，使用了具有规定粒径的玻璃、氧化铝等间隔物粒子。由于这些间隔物粒子被随机地撒布在基板上，因此具有由膜厚偏差引起的显示不均等课题。

对于这样的课题，提出了由支持体膜与膜厚为1～10μm的感光性树脂层构成的液晶显示用的树脂间隔物的形成所使用的树脂间隔物形成用感光性膜(例如，参照专利文献1)。然而，即使使用专利文献1所记载的树脂间隔物，在滤色器与TFT阵列基板的组装(单元压接)时也发生塑性变形，因此因为间隔物的高度偏差，仍具有易于发生显示不均的课题。

作为抑制间隔物的塑性变形的技术，迄今为止，提出了：一种液晶面板用基板，其特征在于，在基板上的非显示部区域设置多个柱状间隔物，该柱状间隔物在室温下对2.0GPa的压缩荷重的弹性变形率为60％以上(例如，参照专利文献2)；一种间隔物用感光性树脂组合物，其特征在于，以碱溶性树脂、光聚合引发剂、和聚合性单体作为主成分，这些感光性树脂组合物整体的丙烯酸系当量为200以下(例如，参照专利文献3)等。

另一方面，为了增加倒棱数而使成品率提高，基样玻璃基板的大型化进展，作为使用小的掩模将具有宽曝光区域的基板进行曝光的技术，提出了一种扫描曝光方法，对于通过基板输送机构以一定速度沿一定方向输送的状态的基板，在曝光部连续将来自光源的曝光光通过设置在曝光光学系统的光路上的掩模的开口部进行照射，在上述基板上转印上述开口部的图像(例如，参照专利文献4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-174464号公报

专利文献2：日本特开2003-241199号公报

专利文献3：日本特开2005-292269号公报

专利文献4：日本特开2006-292955号公报