[发明专利]透明感光性树脂组合物、光刻间隔物、液晶显示装置、光刻间隔物的制造方法、液晶显示装置的制造方法及透明感光性树脂组合物在透镜扫描曝光中的应用

权利要求书

1.一种透明感光性树脂组合物，其至少含有碱溶性树脂、光聚合引发剂和聚合性单体，所述碱溶性树脂具有：

A)下述通式(1)所示的结构单元；

B)下述通式(2)所示的结构单元；以及

C)下述通式(3)所示的结构单元，

所述碱溶性树脂的烯属不饱和基当量为400g/mol以下，

在所述通式(1)中，R¹表示氢原子或甲基；

在所述通式(2)中，R²和R³各自独立地表示氢原子或甲基；X表示-CH₂CH(OH)CH₂O(C＝O)-、-CH₂CH₂NH(C＝O)O(CH₂)_mO(C＝O)-或-(CH₂)_nO(C＝O)NHCH₂CH₂O(C＝O)-；其中，m和n各自独立地表示整数1～4；

在所述通式(3)中，Y表示可以具有取代基的碳原子数6～11的芳基、可以具有取代基的碳原子数7～10的芳烷基或可以具有取代基的碳原子数3～10的环烷基。

2.根据权利要求1所述的透明感光性树脂组合物，在所述通式(3)中，Y为可以具有取代基的碳原子数3～10的环烷基。

3.根据权利要求1或2所述的透明感光性树脂组合物，在所述通式(3)中，Y为环己基。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的透明感光性树脂组合物，在所述通式(1)中，R¹为甲基。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的透明感光性树脂组合物，在将所述碱溶性树脂的结构单元的总和设为100mol％时，通式(3)所示的结构单元量为10～23mol％。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的透明感光性树脂组合物，所述碱溶性树脂的重均分子量为10,000～100,000。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的透明感光性树脂组合物，所述碱溶性树脂的酸值为60～100mgKOH/g。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的透明感光性树脂组合物，相对于所述聚合性单体100质量份，含有34～66质量份的所述碱溶性树脂。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的透明感光性树脂组合物，以固化后膜厚成为3μm的方式涂布，在25℃、45Pa的条件下减压干燥200秒后，用105℃的烘箱加热干燥10分钟后的23℃下的粘度为1×10³～1×10⁸Pa·s。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的透明感光性树脂组合物，形成上底面的直径为6μm、下底面的直径为9μm、高度为3μm的圆台状光刻间隔物并施加了50mN的荷重时的弹性复原率为70％以上。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的透明感光性树脂组合物，其用于透镜扫描曝光。

12.一种光刻间隔物，其使用了权利要求1～11中任一项所述的透明感光性树脂组合物的固化物。

13.一种液晶显示装置，其使用了权利要求12所述的光刻间隔物。

14.一种光刻间隔物的制造方法，通过将权利要求1～11中任一项所述的透明感光性树脂组合物涂布在基板上，进行干燥而获得预烘烤膜，将预烘烤膜进行透镜扫描曝光和显影，从而形成光刻间隔物。