[发明专利]光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物及光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201880058566.6 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN111051374B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 黑岩贞昭 | 申请（专利权）人： | UBE株式会社 |
| 主分类号： | C08G8/10 | 分类号： | C08G8/10;G03F7/023 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂用 酚醛树脂 组合 光致抗蚀剂 | ||
1.一种光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物，其特征在于，以(A)与(B)的质量比成为5～95：95～5的比例包含下述通式(1)所表示的酚醛清漆型酚醛树脂(A)和结构中包含亚芳基骨架及萘骨架中的至少一者的酚醛清漆型酚醛树脂(B)，
通式(1)中，R1表示氢或碳原子数为1以上且8以下的直链状或支链状的烷基，可以分别相同或不同，其中，R1中的至少一个为碳原子数为1以上且8以下的直链状或支链状的烷基，p为1以上且3以下，可以分别相同或不同，q为1以上且3以下，可以分别相同或不同，其中，p+q≤4，n表示0以上的整数，
所述亚芳基骨架为下述通式(4)表示的单元，
通式(4)中，X表示下述式(4-1)或(4-2)所表示的2价的基团，
R2表示氢、碳原子数为1～6的直链状或支链状的烷基、碳原子数为3～6的环状烷基、苯基或卤素，a为1或2，b为1以上且3以下，在b为2以上的情况下，R2可以分别相同或不同，其中，a+b≤4，而且，在酚醛清漆型酚醛树脂(B)的结构中包含多个通式(4)所表示的单元的情况下，酚醛清漆型酚醛树脂(B)的结构中包含的多个a、b及R2可以分别相同或不同。
2.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物，其中，酚醛清漆型酚醛树脂(B)在结构中包含下述通式(4)所表示的单元，
通式(4)中，X表示下述式(4-1)或(4-2)所表示的2价的基团，
R2表示氢、碳原子数为1～6的直链状或支链状的烷基、碳原子数为3～6的环状烷基、苯基或卤素，a为1或2，b为1以上且3以下，在b为2以上的情况下，R2可以分别相同或不同，其中，a+b≤4，而且，在酚醛清漆型酚醛树脂(B)的结构中包含多个通式(4)所表示的单元的情况下，酚醛清漆型酚醛树脂(B)的结构中包含的多个a、b及R2可以分别相同或不同。
3.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物，其中，酚醛清漆型酚醛树脂(B)在结构中包含下述通式(10)所表示的单元，
通式(10)中，R3表示氢、碳原子数为1～6的直链状或支链状的烷基、碳原子数为3～6的环状烷基、苯基、卤素原子、羧基、烷氧基、乙酰基、磺酸钠基、硝基、或氨基，R4表示氢或甲基，c为1以上且3以下，在c为2以上的情况下，R3可以分别相同或不同，而且，在酚醛清漆型酚醛树脂(B)的结构中包含多个通式(10)所表示的单元的情况下，酚醛清漆型酚醛树脂(B)的结构中包含的多个c、R4及R3可以分别相同或不同。
4.一种光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其包含权利要求1～3中任一项所述的光致抗蚀剂用酚醛树脂组合物和感光剂。
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