[发明专利]半导体检查装置

权利要求书

1.一种半导体检查装置，其特征在于，

是检查半导体器件的半导体检查装置，

具备：

第1光源，其产生照射于所述半导体器件的光；

导光元件，其与所述第1光源光学连接；

一对检流计镜，其设置于能够经由所述导光元件而与所述第1光源光学连接的位置；

壳体，其在内部保持所述导光元件与所述一对检流计镜，且具有设置于能够与所述一对检流计镜光学连接的位置的用于安装光学元件的第1安装部；及

控制部，其控制所述一对检流计镜的偏转角，

所述控制部以在通过所述一对检流计镜及所述导光元件的第1光路与通过所述一对检流计镜及所述第1安装部的第2光路之间切换与所述半导体器件光学连接的光路的方式控制所述偏转角，

并且以切换为所述第1光路时的所述偏转角与切换为所述第2光路时的所述偏转角不重复的方式控制所述偏转角，

所述第1光路是以能够执行所述半导体器件的反射光的测定的方式通过配置于所述壳体的内部的内部光学系统中的所述一对检流计镜及所述导光元件、和配置于所述壳体的外部的外部光学系统的光路，

所述第2光路是以能够执行所述半导体器件的发光的检查的方式依次通过配置于所述壳体的外部的外部光学系统、和配置于所述壳体的内部的内部光学系统中的所述一对检流计镜及所述第1安装部的光路。

2.如权利要求1所述的半导体检查装置，其特征在于，

还具备检测来自所述半导体器件的光的第1光检测器，

所述导光元件与所述第1光检测器光学连接。

3.如权利要求1所述的半导体检查装置，其特征在于，

还具备检测来自所述半导体器件的光的第2光检测器，

所述第2光检测器通过被安装于所述第1安装部而能够经由所述第2光路检测所述光。

4.如权利要求2所述的半导体检查装置，其特征在于，

还具备检测来自所述半导体器件的光的第2光检测器，

所述第2光检测器通过被安装于所述第1安装部而能够经由所述第2光路检测所述光。

5.如权利要求3所述的半导体检查装置，其特征在于，

所述第2光检测器经由准直透镜及光纤而安装于第1安装部。

6.如权利要求4所述的半导体检查装置，其特征在于，

所述第2光检测器经由准直透镜及光纤而安装于第1安装部。

7.如权利要求1所述的半导体检查装置，其特征在于，

还具备产生照射于所述半导体器件的光的第2光源，

所述第2光源通过被安装于所述第1安装部而能够经由所述第2光路照射所述光。

8.如权利要求2所述的半导体检查装置，其特征在于，

还具备产生照射于所述半导体器件的光的第2光源，

所述第2光源通过被安装于所述第1安装部而能够经由所述第2光路照射所述光。

9.如权利要求7所述的半导体检查装置，其特征在于，

所述第2光源经由准直透镜及光纤而安装于第1安装部。

10.如权利要求8所述的半导体检查装置，其特征在于，

所述第2光源经由准直透镜及光纤而安装于第1安装部。

11.如权利要求1所述的半导体检查装置，其特征在于，

还具备：产生照射至所述半导体器件的光的第2光源、检测来自所述半导体器件的光的第2光检测器、及将所述第2光源与所述第2光检测器光学连接的光路分割元件，

所述光路分割元件通过被安装于所述第1安装部而能够经由所述第2光路照射及/或检测所述光。