[发明专利]级联缺陷检查

权利要求书

1.一种计算机系统，包括：

存储指令的存储器，所述指令被实现为多个模块，所述多个模块中的每个模块被配置为检测具有不同属性的缺陷；以及

控制器，所述控制器被配置为使所述计算机系统：

接收表示晶片的图像的检查数据；

将所述检查数据输入到所述多个模块中的第一模块，所述第一模块输出具有第一属性的第一组兴趣点(POI)；

将所述第一组POI输入到所述多个模块中的第二模块，所述第二模块输出具有第二属性的第二组POI；以及

报告所述第二组POI作为具有所述第一属性和所述第二属性的缺陷。

2.根据权利要求1所述的计算机系统，其中所述控制器还被配置为使所述计算机系统：

报告所述第一组POI作为具有所述第一属性的缺陷。

3.根据权利要求1所述的计算机系统，其中所述控制器还被配置为使所述计算机系统：

将所述检查数据输入到所述多个模块中的第三模块，所述第三模块输出具有第三属性的第三组POI；

将所述第一组POI和所述第三组POI输入到所述第二模块，所述第二模块输出具有所述第二属性的第四组POI；以及

报告所述第四组POI作为具有以下项的缺陷：i)所述第一属性或所述第三属性、以及ii)所述第二属性。

4.根据权利要求1所述的计算机系统，其中所述控制器还被配置为使所述计算机系统：

将所述第二组POI输入到所述多个模块中的第四模块，所述第四模块输出具有第四属性的第五组POI；以及

报告所述第五组POI作为具有所述第一属性、所述第二属性和所述第四属性的缺陷。

5.根据权利要求1所述的计算机系统，其中由所述多个模块中的每个模块输出的POI是所述晶片的、包括可能缺陷的子区域。

6.根据权利要求1所述的计算机系统，其中缺陷的所述属性包括缺陷尺寸和缺陷类型中的至少一个。

7.根据权利要求1所述的计算机系统，其中所述计算机系统与电子束检查工具耦合，所述电子束检查工具被配置为：利用一个或多个初级电子束扫描所述晶片、并且基于从所述晶片反射的一组或多组次级电子来生成所述检查数据，其中所述控制器被配置为使所述计算机系统：从所述电子束检查工具接收所述检查数据、并且基于所述检查数据来生成所述检查图像。

8.一种计算机系统，包括：

存储指令的存储器；以及

处理器，所述处理器被电子地耦合到所述存储器，并且被配置为执行所述指令以使所述计算机系统：

接收表示晶片的图像的检查数据；

在所述检查图像中确定具有第一属性的第一组兴趣点(POI)；

在所述第一组POI中确定具有第二属性的第二组POI；以及

报告所述第二组POI作为具有所述第一属性和所述第二属性两者的缺陷。

9.根据权利要求8所述的计算机系统，其中所述处理器还被配置为执行所述指令以使所述计算机系统：

报告所述第一组POI作为具有所述第一属性的缺陷。

10.根据权利要求8所述的计算机系统，其中所述处理器还被配置为执行所述指令以使所述计算机系统：

在所述检查图像中确定具有第三属性的第三组POI；

在所述第一组POI和所述第三组POI中确定具有所述第二属性的第四组POI；以及

报告所述第四组POI作为具有以下项的缺陷：i)所述第一属性或所述第三属性、以及ii)所述第二属性。

11.根据权利要求8所述的计算机系统，其中所述处理器还被配置为执行所述指令以使所述计算机系统：

在所述第二组POI中确定具有第四属性的第五组POI；以及

报告所述第五组POI作为具有所述第一属性、所述第二属性和所述第四属性的缺陷。