[实用新型]一种加速度计

说明书

本实用新型提供了一种加速度计，包括：质量块，质量块被设置为：受到驱动而作沿着驱动方向的谐振，同时绕着一回转轴作转动谐振；锚点，质量块连接至锚点；检测电极，用于检测质量块的运动。本实用新型的有益效果：利用谐振原理制成新型加速度计，可以实现抗粘附、抗冲击、易与陀螺集成、前端灵敏度可调等功能。

技术领域

本实用新型涉及一种加速度计，属于微机电技术领域。

背景技术

基于微机电系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical-System)加工制作的微型加速度计因其体积小、成本低、集成性好、性能优良等诸多优点已在工业、医疗、民用、军事等非常广泛的领域得到了越来越多的应用。目前，在各类移动终端、相机、游戏手柄、导航仪等产品的应用中，在一定程度上，已经成为标准配置。在研制过程中，电容式、电阻式、压电式作为检测加速度的方式是主要应用的机理，其中，电容式加速度计因其结构简单，成本低廉，并可在低频范围内拥有较高的灵敏度和线性度等优势，成为最为流行的一类加速度计。

偏心式被动式加速度计中，频率越低灵敏度越高，在考虑灵敏度的情况下，希望把谐振频率设置更低。但频率越低刚度越小，在刚度较小的情况下，会产生与周围电极或其他结构粘附的情况。如何克服这种粘附情况，是偏心式加速度计难以解决的矛盾。

因此，本领域技术人员致力于研发一种全新的加速度计。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：由于现有加工工艺的局限，偏心式加速度计的抗粘附性较差。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种全新架构的加速度计，包括：

质量块，质量块被设置为：受到驱动而作沿着驱动方向的谐振，同时绕着一回转轴作转动谐振；

锚点，质量块连接至锚点；

检测电极，用于检测质量块的运动。

进一步地，包括驱动质量块作谐振的驱动电极组。

进一步地，驱动电极组至少包括第一驱动电极和第二驱动电极，第一驱动电极和第二驱动电极分别位于质量块的两侧。

进一步地，在驱动方向设置一组电极作为反馈电极组，反馈电极组检测质量块在驱动方向运动幅度的大小，并对第一驱动电极和第二驱动电极的驱动信号大小进行反馈。

进一步地，质量块是质量块组。

进一步地，质量块组包括第一质量块和第二质量块，第一质量块和第二质量块以差分式或反向式进行振动。

进一步地，第一质量块和第二质量块通过耦合结构连接。

进一步地，加速度计被配置为：可通过调节沿着驱动方向的谐振幅度，改变加速度计的灵敏度。

进一步地，加速度计被配置为：当加速度计受到超过其检测范围的冲击或振动时，关闭沿着驱动方向的谐振。

本实用新型还提供了一种芯片，是包括有陀螺仪和上述加速度计的单芯片。

本实用新型的有益效果：利用谐振原理制成新型加速度计，可以实现抗粘附、抗冲击、易与陀螺集成、前端灵敏度可调等功能。

附图说明

图1是本实用新型一个较佳实施例中的加速度计的俯视结构示意图；

图2是本实用新型一个较佳实施例中的加速度计的侧视结构示意图；

图3是本实用新型一个较佳实施例中的加速度计的工作原理示意图；

图4是本实用新型另一个较佳实施例中的加速度计的俯视结构示意图；

图示：