[实用新型]一种加速度计有效
| 申请号： | 201822269747.3 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209878805U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 邹波 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;G01P15/125 |
| 代理公司： | 31313 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 陆黎明 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质量块 本实用新型 谐振 加速度计 锚点 前端灵敏度 检测电极 驱动方向 谐振原理 回转轴 抗冲击 抗粘附 陀螺 可调 转动 驱动 检测 | ||
1.一种加速度计，其特征在于，包括：
质量块，所述质量块被设置为：受到驱动而作沿着所述驱动方向的谐振，同时绕着一回转轴作转动谐振；
锚点，所述质量块连接至所述锚点；
检测电极，用于检测所述质量块的运动。
2.根据权利要求1所述的一种加速度计，其特征在于，包括驱动所述质量块作谐振的驱动电极组。
3.根据权利要求2所述的一种加速度计，其特征在于，所述驱动电极组至少包括第一驱动电极和第二驱动电极，所述第一驱动电极和所述第二驱动电极分别位于所述质量块的两侧。
4.根据权利要求3所述的一种加速度计，其特征在于，在所述驱动方向设置一组电极作为反馈电极组，所述反馈电极组检测所述质量块在所述驱动方向运动幅度的大小，并对所述第一驱动电极和所述第二驱动电极的驱动信号大小进行反馈。
5.根据权利要求1所述的一种加速度计，其特征在于，所述质量块是质量块组。
6.根据权利要求5所述的一种加速度计，其特征在于，所述质量块组包括第一质量块和第二质量块，所述第一质量块和所述第二质量块以差分式或反向式进行振动。
7.根据权利要求6所述的一种加速度计，其特征在于，所述第一质量块和所述第二质量块通过耦合结构连接。
8.根据权利要求1所述的一种加速度计，其特征在于，所述加速度计被配置为：通过调节所述沿着驱动方向的谐振幅度，改变所述加速度计的灵敏度。
9.根据权利要求1所述的一种加速度计，其特征在于，所述加速度计被配置为：当所述加速度计受到超过其检测范围的冲击或振动时，关闭所述沿着驱动方向的谐振。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深迪半导体(上海)有限公司，未经深迪半导体(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822269747.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
