[实用新型]一种具有多机械手的蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及一种具有多机械手的蒸镀装置，包括周向设置的n(n≥2)个功能腔室和中心传递室，n个所述功能腔室围绕所述中心传递室连接成“簇”状，中心传递室内设有m(m≥2)个机械手、机械臂和机械传动器，机械传动器设置在机械臂的一端，用于带动机械臂沿水平向转动，机械手位于机械臂的另一端，用于摘取位于功能腔室内的基片或掩膜。本实用新型具有多机械手的蒸镀装置，通过在中心传递室内设计双机械手，每次可将基片及掩膜一起摘取，摘取后亦可进行基片和掩膜的自动压合，提高了工作效率，同时避免了在传递室内的传递污染。

技术领域

本实用新型涉及OLED器件制造技术领域，具体涉及一种具有多机械手的蒸镀装置。

背景技术

蒸镀设备各功能腔室一般都设计为CLUSTER结构，即各功能腔室围绕中心传递室连接成”簇”形状；传递室中设置有一机械手臂，通过机械手的传递将基片与掩膜在各腔室之间输运；这样的输运流程为：控制端输入一次电信号，机械手接收到信号执行指令，首先进行初始腔室内一片基片的摘取，摘取后在传递室通过手臂的转动，当转动到目的腔室位置时进行放置，即一个传递流程完毕；若蒸镀设备一天制作若干片的传递及摘取，则会造成动作繁琐并且操作重复性大，很大程度浪费时间且效率低下。

CLUSTER的蒸镀设备的设计结构，腔室与腔室间真空度各不相同，频繁的打开腔室的闸门，势必会造成其他腔室气体交换，从而破坏工艺真空，影响生产条件。

实用新型内容

针对现有技术中的以上不足，本实用新型提供了一种新型的具有多机械手的蒸镀装置，通过在传递室内设计双机械手，每次可将基片及掩膜一起摘取，摘取后亦可进行基片和掩膜的自动压合，提高了工作效率，同时避免了在传递室内的传递污染。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种具有多机械手的蒸镀装置，包括周向设置的n(n≥2)个功能腔室和中心传递室，n个所述功能腔室围绕所述中心传递室连接成“簇”状，所述中心传递室内设有m(m≥2，且m≤n)个机械手、机械臂和机械传动器，所述机械传动器设置在所述机械臂的一端，用于带动所述机械臂沿水平向转动，所述机械手位于所述机械臂的另一端，用于摘取位于所述功能腔室内的基片或掩膜。

优选地，所述机械手的数量m为2，分别为机械手A和机械手B，所述机械手A位于所述机械手B的上方。

所述机械手A和机械手B与所述机械臂之间通过连接柱Ⅰ可转动固定连接。

所述机械手A和机械手B通过轴承与所述连接柱Ⅰ可转动固定连接，且所述机械手A可通过所述轴承沿所述连接柱Ⅰ上下移动。

所述机械手A上设有两个平行设置的轴臂Ⅰ，所述机械手B上设有轴臂Ⅱ，两个所述轴臂Ⅰ之间的间隙大于所述轴臂Ⅱ的宽度；

所述机械手A可通过所述轴承下移至所述机械手B的水平位置，与所述机械手B重叠。

优选地，所述机械手A和机械手B互为180°摆放。

所述机械手A的两平行轴臂Ⅰ上设有单向的承载挡板；所述机械手A的两平行轴臂Ⅰ与连接柱Ⅰ之间设置为可外开的弹簧节点连接，当所述承载挡板自下方受到先上的作用力时，两平行的所述轴臂Ⅰ以连接柱Ⅰ为中心逐渐向外呈扇形划开，直至位于所述机械手A上的基片完全落至所述机械手B上的掩膜位置，完成模板与掩膜的压合过程，而后两所述轴臂Ⅰ逐渐缓慢恢复。

机械臂为多段式臂，各段之间通过连接柱Ⅱ可转动固定连接。

优选地，所述机械臂为两段式臂，两段之间通过连接柱Ⅱ可转动固定连接。

所述机械手前端上方设有传感器，用于感应位于所述功能腔室内的基片或掩膜的位置。

所述机械传动器位于所述中心传递室的中心。

本实用新型技术方案，具有如下有益效果：