[实用新型]一种晶圆送料定位装置

权利要求书

1.一种晶圆送料定位装置，其特征在于，包括机箱，机箱表面设置有底座，底座上前后对应设置有两个定位座，定位座中部竖直设置有挡板，定位座上左右对称设置有两个定位凸起，晶圆料框的前后两侧分别支撑在对应定位座上，晶圆料框下方设置有升降托举机构，所述升降托举机构包括两个左右对应分布的升降臂，升降臂轴线与定位座长度方向垂直，升降臂上侧倾斜设置，升降臂上侧沿轴线方向间隔设置有若干定位槽，底座和机箱上侧均开设有可容升降臂穿过的凹槽；所述机箱内设置有升降驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆送料定位装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括竖直设置在升降臂下侧的连接杆，所述连接杆设有至少两根，至少两根连接杆伸入机箱内部且下端固定连接有升降座，升降座周围对称设有至少4根导向条，每根导向条均与一竖直导轨相匹配设置，升降座左右两侧均设有丝杠，丝杠轴线竖直设置，丝杠的上下两端分别转动支撑在一轴承座上，丝杠的一端与电机传动连接，丝杠上套设有丝杠螺母，丝杠螺母通过连接座与升降座传动连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆送料定位装置，其特征在于，所述晶圆料框包括两个前后对应设置的框板，框板之间设置有一对左右对称的上托杆和一对左右对称的下托杆，上托杆内侧轴向间隔设置有若干定位槽，下托杆上侧沿轴向间隔设置有若干定位槽，晶圆料框前后两侧的定位槽内放置有保护挡片，两个保护挡片之间的各定位槽与升降臂上的各定位槽一一对应设置，两框板底部固定连接有两根左右对应设置的定位杆；所述框板与对应挡板贴合，所述定位杆与前后对应的两定位凸起贴合。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆送料定位装置，其特征在于，任一所述定位座上竖直设有定位板，定位板上设置有可伸缩的定位块。

5.根据权利要求1或2所述的一种晶圆送料定位装置，其特征在于，所述底座包括两个左右对称设置的侧框条，两个侧框条之间设置有垫板。