[实用新型]基板双面处理高效传递系统

权利要求书

1.一种基板双面处理高效传递系统，其特征在于，包括片盒单元(1)、基板传递机器人A(2)、中间单元(3)、第一清洗单元(4)、基板传递机器人B(5)及第二清洗单元(6)，其中，

所述片盒单元(1)用于存储晶圆；

所述基板传递机器人A(2)用于在所述片盒单元(1)和中间单元(3)之间进行晶圆传输；

所述中间单元(3)用于晶圆的缓存和翻转；

所述基板传递机器人B(5)用于在所述中间单元(3)和清洗单元之间进行晶圆传输；

所述第一清洗单元(4)和第二清洗单元(6)分别设置于所述基板传递机器人B(5)的两侧，用于对晶圆的背面及正面进行清洗。

2.根据权利要求1所述的基板双面处理高效传递系统，其特征在于，所述中间单元(3)设置于所述基板传递机器人A(2)和所述基板传递机器人B(5)之间，包括由下至上设置的基板送出过渡单元(7)、基板前翻转单元(8)及基板后翻转单元(9)，其中基板送出过渡单元(7)用于缓存清洗后的晶圆，所述基板前翻转单元(8)和所述基板后翻转单元(9)用于晶圆的翻转。

3.根据权利要求2所述的基板双面处理高效传递系统，其特征在于，所述第一清洗单元(4)和所述第二清洗单元(6)结构相同，均包括上层清洗区和下层清洗区，所述上层清洗区内设置有多个基板正面清洗单元(11)，所述下层清洗区内设有多个背面清洗单元(10)。

4.根据权利要求3所述的基板双面处理高效传递系统，其特征在于，所述基板传递机器人B(5)将所述基板前翻转单元(8)内翻转后背面朝上的晶圆输送至所述背面清洗单元(10)内进行背面清洗，再将背面清洗单元(10)内清洗完毕的晶圆输送至所述基板后翻转单元(9)内，所述基板后翻转单元(9)将晶圆翻转至正面朝上，所述基板传递机器人B(5)将正面朝上的晶圆输送至所述基板正面清洗单元(11)内进行正面清洗，正面清洗完后的晶圆通过所述基板传递机器人B(5)输送至所述基板送出过渡单元(7)内。

5.根据权利要求1所述的基板双面处理高效传递系统，其特征在于，所述基板传递机器人A(2)和所述基板传递机器人B(5)均包括机械臂(12)及设置于所述机械臂(12)末端的机械手(13)，所述机械手(13)包括手掌(131)及设置于所述手掌(131)两侧的两个手指(133)，通过两个手指(133)托举晶圆的边缘，完成晶圆的输送。

6.根据权利要求5所述的基板双面处理高效传递系统，其特征在于，所述手掌(131)上设有位于两个所述手指(133)之间的手掌支撑凸起(132)，所述手掌支撑凸起(132)与两个所述手指(133)一同支撑晶圆的边缘部。

7.根据权利要求1所述的基板双面处理高效传递系统，其特征在于，所述片盒单元(1)为多个，且呈一字型排列。