[实用新型]真空密封传动的真空室离子束修形加工装置

说明书

本实用新型公开了一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，包括真空室，还包括离子源运动机构，离子源运动机构包括设置于真空室外的驱动电机以及与驱动电机的驱动轴连接且设置于真空室内的传动组件，传动组件与驱动电机在真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接，传动组件与离子源连接。本实用新型由于在真空壁上采用密封传动部件传动，可以使用普通电机代替真空电机，降低了电机成本。

技术领域

本实用新型涉及真空环境工件加工，如离子束修形加工等技术领域，尤其涉及一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置。

背景技术

目前，离子束修形加工设备常采用单真空室设计或双真空室设计。目前离子束修形加工装置所有的运动机构都位于真空室内，驱动电机也位于真空室中，工作于真空环境，因此驱动电机必须采用真空电机。真空电机较普通电机价格昂贵，而且驱动电机占用真空空间，增大了真空室尺寸，增大了真空容积，增加了真空抽气系统负载，提高了离子束修形加工装置的成本。

实用新型内容

本实用新型提供了一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，用以解决目前的真空室离子束修形加工装置的传动机构成本高昂的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案为：

一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，包括真空室，还包括离子源运动机构，离子源运动机构包括设置于真空室外的驱动电机以及与驱动电机的驱动轴连接且设置于真空室内的传动组件，传动组件与驱动电机在真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接，传动组件与离子源连接。

作为本实用新型的进一步改进：

优选地，真空室离子束修形加工装置包括通过插板阀密封连接的主真空室与副真空室，副真空室内设有Z向运动单元，Z向运动单元包括传动组件和驱动电机；Z向运动单元的传动组件与驱动电机在副真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接。

优选地，离子源运动机构包括垂直叠设的X向运动单元和Y向运动单元；X向运动单元和Y向运动单元均包括对应的传动组件和驱动电机；X向运动单元和Y向运动单元中，与主真空室的壁连接的运动单元的传动组件与驱动电机在主真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接。

优选地，离子源运动机构包括X向运动单元、Y向运动单元和Z向运动单元，X向运动单元、Y向运动单元和Z向运动单元相互垂直且三者叠设，与真空室的壁连接的运动单元的传动组件与驱动电机在真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接。

优选地，密封传动组件为磁流体密封传动组件。

优选地，磁流体密封传动组件包括设置在大气侧的输入轴和设置在真空侧的输出轴，输入轴通过磁流变密封传动主体与输出轴连接。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型的真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，由于在真空壁上采用密封传动部件传动，可以使用普通电机代替真空电机，降低了电机成本，同时可选择更大型号的电机，提供更大转动力矩和更快转速，能提高相应轴的加速度和速度，非常有利于离子束修形加工，可以在较短时间内加工出更高精度的光学零件。

2、在优选方案中，本实用新型的真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，可用适用于单真空室和双真空室的离子束修形加工装置，驱动电机外置，减少了真空室内运动机构的尺寸，可以减小真空室的尺寸，减小真空室容积，减小真空抽气系统负载，使真空室结构更优化合理，制造成本下降。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明