[实用新型]真空密封传动的真空室离子束修形加工装置有效
| 申请号： | 201821753737.0 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN208796950U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长沙埃福思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 | 代理人： | 杨斌 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙市长沙县*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空室 传动组件 驱动电机 离子源 传动 离子束修形加工 本实用新型 运动机构 真空密封 密封传动部件 传动连接 电机成本 密封传动 真空电机 驱动轴 真空壁 电机 室外 室内 | ||
1.一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，包括真空室，其特征在于，还包括离子源运动机构(8)，所述离子源运动机构(8)包括设置于所述真空室外的驱动电机以及与所述驱动电机的驱动轴连接且设置于所述真空室内的传动组件，所述传动组件与所述驱动电机在所述真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接，所述传动组件与离子源(5)连接。
2.根据权利要求1所述的真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，其特征在于，所述真空室离子束修形加工装置包括通过插板阀密封连接的主真空室(1)与副真空室(2)，所述副真空室(2)内设有Z向运动单元(11)，所述Z向运动单元(11)包括传动组件和驱动电机；所述Z向运动单元(11)的传动组件与驱动电机在所述副真空室(2)的内外通过密封传动组件进行传动连接。
3.根据权利要求2所述的真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，其特征在于，所述离子源运动机构(8)包括垂直叠设的X向运动单元(9)和Y向运动单元(10)；所述X向运动单元(9)和Y向运动单元(10)均包括对应的传动组件和驱动电机；所述X向运动单元(9)和Y向运动单元(10)中，与主真空室(1)的壁(16)连接的运动单元的传动组件与驱动电机在所述主真空室(1)的内外通过密封传动组件进行传动连接。
4.根据权利要求1所述的真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，其特征在于，所述离子源运动机构(8)包括X向运动单元(9)、Y向运动单元(10)和Z向运动单元(11)，所述X向运动单元(9)、Y向运动单元(10)和Z向运动单元(11)相互垂直且三者叠设，与真空室的壁(16)连接的运动单元的传动组件与驱动电机在所述真空室的内外通过密封传动组件进行传动连接。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，其特征在于，所述密封传动组件为磁流体密封传动组件。
6.根据权利要求5所述的真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，其特征在于，所述磁流体密封传动组件包括设置在大气侧的输入轴(15)和设置在真空侧的输出轴(13)，所述输入轴(15)通过磁流变密封传动主体(14)与所述输出轴(13)连接。
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