[实用新型]机械手及硅片分离装置有效

专利信息
申请号: 201821568223.8 申请日: 2018-09-25
公开(公告)号: CN209119064U 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 杨健;费正洪 申请(专利权)人: 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L31/18
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 杨林洁
地址: 224400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 硅片 机械手 吸盘 分离装置 基部 出气组件 排布 支架 背离 本实用新型 硅片表面 两两一组 生产效率 扁平状 吹气 粘附 破损 传送 花篮 并用 残留 保证
【说明书】:

实用新型提供了一种机械手及硅片分离装置,所述机械手包括设置呈扁平状且可探伸进相邻两硅片之间的基部、位于所述基部一侧并用以吸取硅片的吸盘以及出气组件,所述出气组件用以向位于所述基部背离吸盘一侧的硅片吹气。所述硅片分离装置用以将两两一组且沿第一方向依次排布在花篮中的硅片分离,其包括支架及若干沿所述支架排布的前述机械手。所述机械手能够有效避免背离吸盘一侧的硅片粘附于相应的机械手,降低分片过程中的硅片破损几率,保证生产效率;且能减少硅片表面残留水分,利于硅片后续传送。

技术领域

本实用新型涉及光伏生产设备领域,特别涉及一种机械手及硅片分离装置。

背景技术

制绒是在硅片表面形成既定的绒面结构,以降低硅片反射率,提高光生电流。随着硅片厚度的降低,单面制绒技术在减少硅片厚度损失方面较之传统双面制绒技术具有巨大优势。

采用酸、碱溶液对硅片进行湿法制绒仍是业界的主流工艺方法。其中,槽式湿法制绒设备在硅片完成单面制绒后,需将两两贴靠在一起的硅片进行分离,所述硅片两两一组依次排列在花篮中,通过现有机械手进行分片时,所述机械手需探伸进入相邻两组硅片之间,再通过吸盘吸取相应的硅片。但,由于待分离的硅片表面仍残留有水分,所述机械手背离吸盘的一侧可能会粘附住该侧硅片,进而导致机械手移动分片过程中出现硅片碎裂等状况。

鉴于此,有必要提供一种新的机械手及硅片分离装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机械手及硅片分离装置,能够避免背离吸盘一侧的硅片粘附于相应的机械手,降低碎片率,保证生产效率;且能减少硅片表面残留水分,利于硅片后续传送。

为实现上述实用新型目的,本实用新型提供了一种机械手,包括设置呈扁平状且可探伸进相邻两硅片之间的基部、位于所述基部一侧并用以吸取硅片的吸盘以及出气组件,所述出气组件用以向位于所述基部背离吸盘一侧的硅片吹气。

作为本实用新型的进一步改进,所述出气组件包括设置在所述基部背离吸盘一侧表面的出气孔。

作为本实用新型的进一步改进,所述出气孔沿所述基部的表面均匀分布。

作为本实用新型的进一步改进,所述出气组件包括位于所述基部旁侧的出气管,所述出气管上开设有出气孔。

本实用新型还提供一种硅片分离装置,用以将两两一组且沿第一方向依次排布在花篮中的硅片分离,所述硅片分离装置包括活动设置的支架及若干如前所述的机械手,若干所述机械手沿所述支架依次间隔设置。

作为本实用新型的进一步改进,相邻所述机械手的间距与所述花篮的齿距相对应。

作为本实用新型的进一步改进,所述硅片分离装置还包括吹气管,所述吹气管上开设有用以向两两一组的前述硅片吹气的吹气孔。

作为本实用新型的进一步改进,所述吹气管设置在待分离的前述硅片的下方且沿第一方向延伸设置;所述吹气孔沿所述吹气管的延伸方向均匀排布,相邻所述吹气孔的间距与所述花篮的齿距相对应。

作为本实用新型的进一步改进,所述吹气管设置在所述支架上且随所述支架一并移动。

作为本实用新型的进一步改进,所述吹气管呈线性延伸且设置为两根。

本实用新型的有益效果是:本实用新型机械手及硅片分离装置适用于单面制绒设备,通过所述出气组件向背离吸盘一侧的硅片吹气,能够避免该侧硅片粘附于相应的机械手,降低碎片率,保证生产效率;且能减少硅片表面残留水分,利于硅片后续传送,避免硅片滑动偏移。

附图说明

图1是本实用新型硅片分离装置一较佳实施例的结构示意图;

图2是图1中硅片分离装置的机械手一较佳实施例的平面示意图;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司,未经盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821568223.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top