[实用新型]一种新型副塔机构

说明书

本实用新型公开了一种新型副塔机构，包括支撑板、副塔进气固定板、吸尘筒和副盘吸头，所述支撑板设置在支撑座的上方，支撑板与支撑座嵌合，所述副塔进气固定板设置在支撑板倾斜端面的上方，并在副塔进气固定板的两端设置轴承，所述副盘吸头设置在副盘吸头固定座上，并与气路连通，所述吸尘筒固定座设置在支撑板的竖直端面上，并在吸尘筒固定座上设置吸尘筒，本实用新型采用2根导向杆，能够保证石墨盘和副盘吸头固定座的底面完全贴合，且加工难度大大降低，装配简易方便，稳定性明显提升；采用直通的气路，与石墨盘的气腔直通，对气流影响更小，正压负压切换更及时，保证了机构运行的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体产品加工设备技术领域，具体是一种新型副塔机构。

背景技术

副塔机构为转塔式测试分选机独立模块，主要功能为对半导体产品进行激光打标和对产品表面进行视觉检查及对打印后的产品上部的字符进行检查(有无印字模糊不清，印字缺漏或多字符，有无印字错误等)。

目前市场上的副塔机构会经常出现产品在副盘上旋转时甩飞的情况，另外真空破坏时不稳定导致产品从此副盘到主塔吸嘴上后产品有倾斜的现象。其次旧款的结构为4根导向杆，现在改为了2根导向杆，4根时零件加工困难且装配出来后出现上下滑动不顺畅的情况使石墨盘和副盘吸头固定座出现贴合不平的情况导致此处漏真空运转时产生异响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型副塔机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型副塔机构，包括副塔支撑座、伺服电机、支撑板、导向杆、导杆套、副塔进气固定板、端盖、副塔感应器固定块、感应器固定座组合件A、感应器固定座组合件B、光线感应器A、光线感应器B、轴承、气管弯头、吸尘管、导通接线片、压紧片、导通片固定座、副盘吸头固定座、气路、A工位、B工位、C工位、D工位、副塔石墨盘、电磁阀、吸尘筒固定座、吸尘筒、产品、副盘吸头和压簧，所述支撑板设置在支撑座的上方，支撑板与支撑座嵌合，并通过螺钉连接，并在支撑板的倾斜端面下设置伺服电机，伺服电机通过螺钉连接支撑板，同时在伺服电机上方的支撑板上设置导通片固定座，导通片固定座的两侧设置导通接线片，位于D工位的下方区域，并且导通接线片连接旋转的副盘吸头固定座，并在导通接线片的外侧设置压紧片，所述副塔进气固定板设置在支撑板倾斜端面的上方，并在副塔进气固定板的两端设置轴承，轴承内设置导向杆，并在导向杆的顶端设置端盖，同时在轴承的外侧设置压簧，压簧分别与副塔进气固定板和支撑板连接，另在支撑板上设置导杆套，所述气管弯头设置在副塔进气固定板的两侧，并在支撑板的竖直端的侧边上设置电磁阀，气管弯头与电磁阀的接口连接，所述副塔石墨盘设置在副塔进气固定板的上方，并且副塔石墨盘通过螺钉连接副塔进气固定板，所述副盘吸头固定座设置在伺服电机的轴端，并位于副塔石墨盘的上方，并在副盘吸头固定座上设置A工位、B工位、C工位和D工位，同时在副盘吸头固定座内设置气路，气路分别与A工位、B工位、C工位和D工位对应，并且气路，所述副盘吸头设置在副盘吸头固定座上，副盘吸头内设置产品，并且副盘吸头分别与A工位、B工位、C工位和D工位对应，并与气路连通，所述副塔感应器固定块设置在支撑板的一侧，副塔感应器固定块上设置感应器固定座组合件A，并在支撑板的左端设置感应器固定座组合件B，同时在感应器固定座组合件A和感应器固定座组合件B上分别设置光线感应器A和光线感应器B，所述吸尘筒固定座设置在支撑板的竖直端面上，并在吸尘筒固定座上设置吸尘筒，吸尘筒连接吸尘管。

作为本实用新型进一步的方案：所述轴承采用LM5UU的滑动轴承。

作为本实用新型进一步的方案：所述气路的与垂直平面的夹角为45度。

作为本实用新型进一步的方案：所述气管弯头共五个，并且设置在副塔进气固定板的两侧，其中三个设置在副塔进气固定板的左侧，并且电磁阀的左边最上方的接头连接电磁阀的一端，另外4个接头接到设备的负压上。