[实用新型]一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构

说明书

本实用新型公开了一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，包括壳体和用于传送加工元件的传动机构，所述壳体的右壁中部开设有出料口，所述传动机构设置在壳体的内侧，所述传动机构的右端穿过出料口并延伸至壳体右侧，所述壳体的右壁上端固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有电机，所述电机的输出轴端固定连接有螺纹杆，所述支撑板的两侧均开设有通孔，所述通孔内设有滑杆，所述滑杆的上端固定连接有限位板，所述滑杆的下端固定连接有安装板，所述安装板的右侧固定连接有连接杆，所述连接杆的右侧固定安装有离子风刀，本实用新型通过在壳体的右侧设置离子风刀，可以有效清除加工元件表面的微尘粒子，避免后续制程上的缺陷。

技术领域

本实用新型涉及半导体湿式制程设备技术领域，尤其涉及一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构。

背景技术

现有的半导体湿式制程机台在制程当中，由于工件制程后，工件会因静电关系将环境当中的微尘粒子落尘吸附到表面，不但会造成制程上缺陷，而且会进一步影响后续产品的质量。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供了一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，通过在壳体的右侧设置离子风刀，可以有效清除加工元件表面因静电而附着的微尘粒子，避免了后续制程上的缺陷，保证了产品的质量，通过电机带动螺纹杆转动，从而带动安装板和离子风刀上升和下降，实现对离子风刀高度的调整，便于满足不同工作环境中的高度需求。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构，包括壳体和用于传送加工元件的传动机构，所述壳体的右壁中部开设有出料口，所述传动机构设置在壳体的内侧，所述传动机构的右端穿过出料口并延伸至壳体右侧，所述壳体的右壁上端固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有电机，所述电机的输出轴端固定连接有螺纹杆，所述支撑板的两侧均开设有通孔，所述通孔内设有滑杆，所述滑杆的上端固定连接有限位板，所述滑杆的下端固定连接有安装板，所述安装板的上表面开设有螺纹孔，所述安装板的右侧固定连接有连接杆，所述连接杆的右侧固定安装有离子风刀。

进一步地，所述螺纹孔贯穿安装板的上表面和底面。

进一步地，所述螺纹孔与螺纹杆螺纹配合。

进一步地，所述离子风刀的风口朝向垂直于传动机构的上表面。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过在壳体的右侧设置离子风刀，可以有效清除加工元件表面因静电而附着的微尘粒子，避免了后续制程上的缺陷，保证了产品的质量；通过电机带动螺纹杆转动，从而带动安装板和离子风刀上升和下降，实现对离子风刀高度的调整，便于满足不同工作环境中的高度需求。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构的结构正视图；

图2是本实用新型一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构的结构侧视图；

图3是本实用新型一种安装离子风刀的湿式制程机台出料端结构中安装板和滑杆的立体结构图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。